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D135-10-883_D - Description
En plus de maintenir la pression dans le spectromètre de masse, le système de pompage est
utilisé pour évacuer les pièces à tester. Veillez à ce que la pression dans le spectromètre de
masse soit suffisamment faible en toutes circonstances. Les vannes V1, V2a, V2b et V4a
contrôlent les débits de gaz lors de la mesure. Les vannes V3 et V5 permettent de remettre
le système et la pompe turbomoléculaire à l'air, la vanne V6 contrôle la fonction de lest d'air
de la pompe à vide primaire. La vanne V7 ouvre et ferme la fuite calibrée interne au cours de
l'étalonnage.
Avec la pression appliquée à la pièce à tester inférieure à la pression atmosphérique, l'hélium
pulvérisé (ou l'hydrogène en tant gaz de formage) peut pénétrer à l'intérieur de la pièce en
cas de fuite. Dès que les conditions de pression le permettent, une des vannes de la TMP
s'ouvre. Désormais, l'hélium peut pénétrer le spectromètre de masse dans le sens opposé du
pompage de la TMP.
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