Table Des Matières - Edwards AIGX-S-NW25 Mode D'emploi

Table des Matières

Publicité

Table des matières

Section
1
Introduction ....................................................................................... 1
1.1
Portée ..................................................................................................................... 1
1.2
Description ................................................................................................................ 1
2
Caractéristiques techniques .................................................................... 3
2.1
Caractéristiques mécaniques .......................................................................................... 3
2.2
Performances, conditions de fonctionnement et de stockage .................................................... 3
2.3
Caractéristiques électriques ........................................................................................... 3
2.3.1
Alimentation électrique ................................................................................................ 3
2.3.2
Signal de sortie ........................................................................................................... 4
2.3.3
Activation de la jauge et du dégazage ............................................................................... 4
2.3.4
Point de consigne ....................................................................................................... 4
2.3.5
Identification de jauge ................................................................................................. 4
2.3.6
Électrodes ................................................................................................................. 4
2.4
Matériaux exposés au vide ............................................................................................. 5
3
Installation ......................................................................................... 7
3.1
Déballage et vérifications .............................................................................................. 7
3.2
Installation de l'AIGX sur le système de vide ........................................................................ 7
3.3
Raccordements électriques ............................................................................................ 7
3.3.1
Raccordement à un contrôleur Edwards ............................................................................. 7
3.3.2
3.3.3
Longueur de câble maximale ......................................................................................... 10
4
Fonctionnement ................................................................................ 11
4.1
Activer et désactiver l'AIGX ...........................................................................................11
4.2
Mesure de pression .....................................................................................................11
4.2.1
Étalonnage en différents gaz ......................................................................................... 12
4.3
Courant d'émission ......................................................................................................13
4.4
Dégazage de l'AIGX .....................................................................................................13
4.5
Protection contre la surpression ..................................................................................... 13
4.6
Sélection des filaments ................................................................................................13
4.7
Voyant DEL d'état .......................................................................................................13
4.8
Réglage de point de consigne ......................................................................................... 14
4.9
Indication d'erreur ......................................................................................................14
4.10
Étuvage ................................................................................................................... 14
5
Entretien ......................................................................................... 17
5.1
Guide d'identification des pannes .................................................................................... 17
5.2
Remplacement du tube ................................................................................................17
5.3
Remplacement du fusible interne .................................................................................... 17
5.4
Service d'étalonnage ...................................................................................................18
6
Stockage et mise au rebut .................................................................... 19
6.1
Stockage .................................................................................................................. 19
6.2
Mise au rebut ............................................................................................................ 19
© Edwards Limited 2013. Tous droits réservés.
Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
D048-50-883 Issue E
Page
Page i

Publicité

Table des Matières
loading

Ce manuel est également adapté pour:

Aigx-s-dn16cfAigx-s-dn40cfD048-50-000D048-51-000D048-52-000

Table des Matières