Brooks Instrument Ar-Mite MT3750 Manuel D'installation Et D'opération page 51

Installation and Operation Manual
X-VA-MT3750C-eng
Part Number:541B063AAG
October, 2013
Greek
Brooks Instrument ,
,
Brooks Instrument.
:
.
.
.
: (1)
. (2)
:
.
Brooks Instrument
25 mm
( / )
Brooks Instrument
«D»
.
:
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.
:
1.
2.
3.
:
,
, ,
,
'
,
.
,
,
,
,
0,5 bar (g)
(PED).
25 mm 1
1
Brooks Instrument
( 2004/108/EC
,
,
.
CE.
.
.
.
,
ESD (
,
Section A - Essential Instructions
!
,
.
.
.
.
.
.
Brooks Instrument.
,
1.
,
CE
EMC).
:
CE.
.
.
.
.
(ESD)
.
.
)
.
Brooks ® Ar-Mite TM
.
.
,
/
Brooks Instrument.
.
,
.
.
.
(PED)
25 mm 1
PED.
97/23/ .
PED.
(SEP).
(EMC)
CE.
100% .
360 .
100%
,
,
.
(NMOS, SMOS .).
.
MT3750C
.
,
.
.
.
A-9