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Haute précision et haute résolution
Pression composée
Pression positive
Répétitivité
Fonction filtre
Diversité de
Evite les erreurs d'utilisation dues à des variations
fonctions
brusques
permettant de modifier le temps de réponse.
Fonction autoshift
La détection de la pression n'est pas
affectée par les variations de la pression
d'alimentation.
Série ZSE60F/ISE60
Des raccords spécifiques sont utilisés dans l'équipement
de production de semiconducteurs (Raccords à joint métallique)
Taux de fuite: 1 x 10
ZSE/ISE60 ( F )- A2
Modèles
Plage de pression
Sortie
0.2%F.S.
1 chiffre maxi
de
la
pression
Temps de réponse possibles: 2.5ms (défaut), 24ms,
Pa . m
-10
3
/s
ZSE/ISE60 ( F )- B2
URJ 1/4
ZSE50F
Modèle
Type de filetage standard
R 1/4⋅NPT 1/4⋅G 1/4 (avec filetage M5 )
Orifice
Taux de fuite
100kPa
0
nominale
-100kPa
Sortie commutée
Sortie analogique
1/2000 ( 0.1kPa )
1/1000 ( 0.001MPa )
Fonction de programmation auto
Réglage de la pression automatique
d'alimentation,
possible.
Moins de temps requis pour le réglage.
Fonction de blocage
192ms, 768ms maxi
Fonction d'affichage de
crête et minimal
Fonction de remise à zéro
Confirmation de la pression atmosphérique pour la chambre
de verrouillage de la charge
TSJ 1/4
ISE50
Pa . m
-5
1 x 10
3
/s
1MPa
0
NPN ou PNP à 2
Tension de sortie
®
ZSE60F
ISE60
Raccords spécifiques pour l'industrie des semiconducteurs
(Raccords à joint métallique)
URJ 1/4⋅ TSJ 1/4
-10
1 x 10
Pa ⋅ m
3
/s
100kPa
1MPa
0
0
-100kPa
sorties
1 à 5V
Caractéristiques 2
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