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11.3 DETERMINATION DES VOLTAGES LIMITES
LIMITE INFERIEURE
La tension inférieure pour un travail efficace est la tension de claquage
d'une épaisseur d'air égale à l'épaisseur de la couche. La tension de
claquage d'une épaisseur donnée d'air dépend de l'humidité, de la
pression et de la température, mais se situe aux environs de 4kV/mm.
Si l'épaisseur de la couche est connue, ou si on peut la mesurer, on
peut utiliser le graphe du chapitre 11.2 pour avoir la tension inférieure,
en utilisant la droite AIR. Par exemple, pour une épaisseur de couche
de 1 mm, la tension inférieure vaut environ 4,5 kV.
Si on ne connaît pas l'épaisseur de la couche, alors la limite inférieure
doit être déterminée expérimentalement.
Diminuez la tension jusqu'à son minimum et placez la sonde au-
dessus d'une portion de substrat découverte, à la même hauteur que
la surface de la couche. Augmentez doucement la tension jusqu'à ce
qu'une étincelle se forme. Notez cette tension, qui est la tension
inférieure.
LIMITE SUPERIEURE
La tension supérieure peut être déterminée par :
Les caractéristiques de la pièce : si elles sont disponibles et si une
tension de contrôle est donnée.
La rigidité diélectrique : si elle est spécifiée pour la couche
appliquée.
Mesurez l'épaisseur de la couche et utilisez le graphe donné au
paragraphe 11.2. On peut aussi calculer la tension maxi permettant
des variations d'épaisseurs de couche.
Remarque : cette méthode ne convient que si la rigidité diélectrique
est déterminée pour une tension à courant continu.
Expérience : placez la sonde au-dessus d'une petite portion de la
pièce. Augmentez doucement la tension jusqu'à ce qu'une étincelle se
forme à travers la couche. Notez cette tension, qui est la tension
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