Plages de débit du débitmètre
Série
Fluide
Disponibilité pour le afficheur
compatible
déporté pour débitmètre PFG300
PF2A
—
PF3A7H
9
p.
PFG300
14
p.
PFM
—
Argon
CO
PFMB
PFG300
PFMC
PFG300
Série
compatible
PFMV
5
Plus petit
Méthode de
intervalle
détection
0.2 0.5
réglable
1
0.1 l/min
0.5 l/min
Modèle
Air
1 l/min
thermique
N
2
(Termistor)
2 l/min
5 l/min
Modèle
2 l/min
thermique
(Capteur
Air
platine)
5 l/min
N
2
Modèle à
débit
10 l/min
dérivé
0.2
0.2 .2
0.01 l/min
Air
sec
0.5
Modèle
N
2
thermique
(MEMS)
0.1 l/min
1
2
Modèle
thermique
(MEMS)
Air
1 l/min
sec
Modèle à
N
2
débit
dérivé
Modèle
thermique
Air
(MEMS)
sec
1 l/min
N
2
Modèle à
débit
dérivé
Fluide
Méthode de
détection
-3
Air sec
Modèle
N
thermique
2
(MEMS)
-3
-3
Plage de débit nominal [l/min]
1 2
5 10 20 25 50 100 150 200 300
10
1
5
50
5
10
100
1
20
2
200
50
30
60
120
1
10
25
2
5
50
2
1
100
2
200
2
5
10
20
5
10
20
Plage de débit nominal [l/min]
-2
-1
-0.5
-0.5
5
-1
500 600
1000
2000
3000 6000 12000
5
500
5
500
1000
1
2000
2
5
500
1
1000
2
2000
0
0.5
1
2
0
0
0
0.5
0
0
1
1
0
0
0
0.5
1
1
3
3000
6
6000
12000
12000
00
3
3
3
3