Table des Matières
Publicité
Les langues disponibles
Les langues disponibles
Liens rapides
Turbo-V 81-M
Models:
969-8901
969-8902
969-8903
969-8904
87-900-983-01(D)
FEBRUARY 2008
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Publicité
Table des Matières
Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Turbo-V 81-M Série
- Page 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES Turbo-V 81-M MANUAL DE INSTRUÇÕES (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING (DK) INSTRUKSTIONSBOG Models:...
- Page 2 Turbo-V 81-M...
-
Page 5: Table Des Matières
ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................4 MODE D’EMPLOI ...............................7 INSTRUCCIONES DE USO ..........................10 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................13 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................16 BRUGSANVISNING ............................19 BRUKSANVISNING............................22 BRUKERVEILEDNING .............................25 KÄYTTÖOHJEET .............................28 PDHGIES CRHSEWS ............................31 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................34 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TURBO-V 81-M..................52... -
Page 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Page 7: Informazioni Generali
ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI ATTENZIONE! Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utiliz- zatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. -
Page 8: Smaltimento
ISTRUZIONI PER L'USO I controller disponibili sono i seguenti: Rack controller 81-AG base: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 PERICOLO! Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos- PCB 24 V: 969-9538 sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 tipiche di ciascun gas. -
Page 9: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Page 10: Allgemeine Informationen
GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINE INFORMATIONEN ACHTUNG! Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weite- Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem ren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachge- angefaßt werden. -
Page 11: Entsorgung
GEBRAUCHSANLEITUNG Die verfügbaren Controller sind folgende: Rack controller 81-AG: 969-8988 GEFAHR! Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige PCB 24 V: 969-9538 Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. -
Page 12: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Page 13: Indications Generales
MODE D’EMPLOI INDICATIONS GENERALES ATTENTION! Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profession- nelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisa- Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à teur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute mains nues, les éléments devant être exposés au vide. -
Page 14: Entretien
MODE D’EMPLOI Les contrôleurs disponibles sont les suivants: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 DANGER! Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi- PCB 24 V: 969-9538 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi- ques de chaque gaz. -
Page 15: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Page 16: Información General
INSTRUCCIONES DE USO INFORMACIÓN GENERAL ¡ATENCIÓN! Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las información suplementaria facilitada por Varian antes de usar el manos desnudas los componentes destinados a exponerse al aparato. - Page 17 INSTRUCCIONES DE USO Los controladores disponibles son los siguientes: Rack controller 81-AG: 969-8988 ¡PELIGRO! Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables radioactivos, seguir procedimientos PCB 24 V: 969-9538 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
-
Page 18: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. - Page 19 INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS ATENÇÃO! Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a mãos os componentes destinados à...
- Page 20 INSTRUÇÕES PARA O USO Os controller disponíveis são os seguintes: Hélio) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice Rack controller 81-AG: 969-8988 "Technical Information”). Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538 PERIGO! Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Quando a bomba é...
-
Page 21: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Page 22: Algemene Informatie
GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE ATTENTIE! Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De ontgassingsproblemen voorkomen, mogen gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met het apparaat in gebruik te nemen. - Page 23 GEBRUIKSAANWIJZINGEN De beschikbare controllers zijn de volgende: Rack controller 81-AG: 969-8988 GEVAAR! Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 brandbare, giftige radioactieve gassen, moeten PCB 24 V: 969-9538 procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 opgesteld.
-
Page 24: Sikkerhedsanvisninger
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Page 25 BRUGSANVISNING Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og GENEREL INFORMATION opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning anden yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke VIGTIGT! ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt...
- Page 26 BRUGSANVISNING De controller, som står til rådighed, er følgende: Rack controller 81-AG: 969-8988 ADVARSEL! Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. PCB 24 V: 969-9538 Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
-
Page 27: Bruksanvisning
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Page 28: Allmän Information
BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION VIKTIGT! Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av handskar eller liknande skydd. - Page 29 BRUKSANVISNING Följande kontrollsystem finns tillgängliga: Rack controller 81-AG: 969-8988 VARNING! Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör följa särskilda PCB 24 V: 969-9538 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 anvisningarna för varje enskild gas.
-
Page 30: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylære Pumper Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Page 31: Klargjøre Til Installasjon
BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON FORSIKTIG! Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. - Page 32 BRUKERVEILEDNING Turbo-V 81-M pumpen skal kun brukes sammen med en av de egnede Varian-styreenhetene og den må koples til en ADVARSEL! hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Følgende styreenheter kan brukes: Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989...
-
Page 33: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 28/63 87-900-983-01(D) -
Page 34: Yleisiä Tietoja
KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA HUOMIO! Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota muuta sopivaa suojausta. - Page 35 KÄYTTÖOHJEET Sarjan Turbo-V 81-M turbomolekyylipumppuja saa käyttää ainoastaan yhdessä tarkoitusta varten olevien Varian valvojien kanssa ja ne on kytkettävä pääpumppuun (ks. "Technical VAARA! Information" liitteen kaaviota). pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien Saatavilla on seuraavan tyyppisiä valvojia: radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa Rack controller 81-AG: 969-8988 jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.
- Page 36 ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
- Page 37 ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES PROSOCH Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj Gia na apofÚgete problÿmata apagwgÿj aer∂ou, mhn agg∂zete me egceir∂diou odhgièn kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto pou d∂nei h Varian, prin apÒ...
- Page 38 ODHGIES CRHSHS Οι διαθέσιµοι controller είναι οι ακόλουθοι: Rack controller 81-AG: 969-8988 KINDUNOS! Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej PCB 24 V: 969-9538 carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.
-
Page 39: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Page 40 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ FIGYELEM A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig információt.
- Page 41 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Az alkalmazható vezérlő egységek a következők: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 VIGYÁZAT! Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok PCB 24 V: 969-9538 szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
-
Page 42: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Page 43 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać OGÓLNE INFORMACJE opakowania w środowisku. Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny jest z Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony środowiska. instrukcję...
- Page 44 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Pomp turbomolekularnych z serii Turbo-V 81-M należy używać Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub wyłącznie wraz ze specjalnym kontrolerem Varian i muszą być obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe one podłączone do pompy głównej (zobacz schemat w poprzez odpowiedni wlot musi być...
-
Page 45: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Page 46 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ VŠEOBECNÉ INFORMACE VAROVÁNÍ Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli ruce při manipulaci s komponenty, které...
- Page 47 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Turbomolekulární čerpadlo řady Turbo-V 81-M lze používat jen ve spojení s některým ze speciálních controllerů Varian a musí VÝSTRAHA! být připojeno k primárnímu čerpadlu (viz schéma v bodu Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo Technical Information).
-
Page 48: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Page 49 NÁVOD K POUŽITIU Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. 85/399. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť...
- Page 50 NÁVOD K POUŽITIU Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-M sa môžu používať len s niektorým z príslušných kontrolných zariadení UPOZORNENIE Varian a musia byť zapojené na primárne čerpadlo (viď schému v materiále “Technical Information”). Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená K dispozícii sú...
-
Page 51: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Page 52 NAVODILA ZA UPORABO SPLOŠNE INFORMACIJE POZOR Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
- Page 53 NAVODILA ZA UPORABO Turbomolekularne črpalke iz serije Turbo-V 81-M se lahko uporabljajo samo s primernimi krmilniki Varian in morajo biti OPOZORILO! priključene na primarno črpalko (glej sliko v sekciji “Technical Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite Information”). zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
-
Page 54: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Page 55: General Information
INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION CAUTION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands information supplied by Varian before operating the equipment. to handle components which will be exposed to vacuum. - Page 56 INSTRUCTIONS FOR USE The Turbo-V 81-M pumps must be used in conjunction with one of the suitable Varian controller and they must be connected to WARNING! a primary pump (see "Technical Information"). When employing the pump for pumping toxic, flammable, or The available controllers are the following: radioactive gases, please follow the required procedures for Rack controller 81-AG: 969-8988...
-
Page 57: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION Proceeding from the high vacuum to the forevac- DESCRIPTION OF THE TURBO-V 81-M uum region, the turbine stages sequence is: The Turbo-V 81-M pump is available in four ver- sions. The difference among the four versions lies • 1st stage with a blade angle of 40°, purely in the high vacuum connection. -
Page 58: Technical Specification
TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION (displacement) Noise level ≤ 45 dB (A) at 1 meter Pumping speed With ISO 63 or With KF 40 NW CFF 4.5” or CFF 2.75” Compliance with: UNI EN 292-1 : 77 l/s : 50 l/s UNI EN 292-2 He: 65 l/s He: 56 l/s... -
Page 59: Turbo-V 81-M Outline
TECHNICAL INFORMATION TURBO-V 81-M OUTLINE The following figure shows the Turbo-V 81-M outlines (dimensions are in inches [mm]). Turbo-V 81-M outline 54/63 87-900-983-01(D) - Page 60 TECHNICAL INFORMATION Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m /h mechanical pump Graph of compression ratio vs foreline pressure 55/63 87-900-983-01(D)
-
Page 61: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION The screen can be removed as shown in the fol- INLET SCREEN INSTALLATION lowing figure. The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being dam- aged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pump- The following figure shows the overall flange di- ing speed by about 10%. -
Page 62: Heater Band Installation
TECHNICAL INFORMATION HEATER BAND INSTALLATION CAUTION If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should be installed to pre- vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120° C. AIR COOLING KIT INSTALLATION An air cooling kit (mod. -
Page 63: Water Cooling Kit Installation
TECHNICAL INFORMATION WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9823 (me- tallic model), and 969-9824 (plastic model). -
Page 64: Vent Accessories
TECHNICAL INFORMATION 2. Assemble the metal or the plastic kit as shown. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or us- ing a closed circuit cooling system. The water temperature must be between +15 °C and +35 °C, with an inlet pressure between 2 and 4 bar. -
Page 65: Vibration Isolator Installation
TECHNICAL INFORMATION Then screw the vent valve into the pump and TYPICAL LAYOUT DIAGRAM tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. With Navigator Controller Turbo-V Navigator controller Vent valve Vacuum pump shut-off valve (optional) System vent valve (optional) Vacuum chamber CAUTION... -
Page 66: With Standard Rack Controller
TECHNICAL INFORMATION With Standard Rack Controller Connection A - HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo-V 81-M pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. -
Page 67: Connection Configurations
TECHNICAL INFORMATION Connection configurations Connection B - FORE-VACUUM PUMP Connection C - ELECTRICAL A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V 81-M pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. -
Page 68: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
TECHNICAL INFORMATION PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC ACCESSORIES AND SPARE PARTS FIELDS DESCRIPTION PART NUMBER Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of Inlet screen, DN 40 969-9309 a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. Inlet screen, DN 63 969-9300 Heater band 220 V... - Page 69 Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3.
- Page 70 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Page 71 Sales and Service Offices France and Benelux Japan Other Countries Varian s.a. Varian Vacuum Technologies Varian Inc. 7 Avenue des Tropiques Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 4-16-36 Shibaura Via F.lli Varian 54 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 Minato-ku, Tokyo 108 10040 Leini, (Torino)