Table des Matières
Publicité
Eingabebeispiel:
Sollwert wird angezeigt,
SET
250 (hPa)
Hysterese wird angezeigt,
SET
h__5 (hPa)
Druckdifferenz wird angezeigt,
SET
d_45 (hPa)
Absenkzeit wird angezeigt,
SET
t_15 (min)
Istwert-Anzeige.
SET
Prozess starten und Beenden:
Regelung starten, in der Mode-
MAN
Anzeige erscheint "H1" (LED
"MAN" leuchtet)
Falls eine Absenk-Rampe gefahren wird,
erscheint die noch verbleibende Absenk-
zeit alternierend mit der Modusanzeige
"H1". Am Prozessende zeigt das Mode-
Display "End", die Ventile werden ge-
schlossen.
Wird die "MAN"-Taste während des Pro-
zesses ein zweites Mal gedrückt, so läuft
die Apparartur gegen Endvakuum.
Regelung beenden,
STOP
Prozesskammer belüften.
Input example:
setpoint is displayed,
SET
250 (hPa)
hysteresis is displayed,
SET
h__5 (hPa)
pressure decrease is displayed,
SET
d_45 (hPa)
decrease time is displayed,
SET
t_15 (min)
actual pressure is displayed.
SET
Start and stop process:
start
controlling,
MAN
display shows "H1" (LED "MAN"
is on)
If a pressure decrease is programmed,
the remaining decrease time is displayed
alternating with the operation mode "H1".
When the process is finished the Mode-
display shows "End" and all valves are
closed.
If the "MAN"-key is pressed a second time
during the process, the process chamber
is evacuated with maximum pump speed.
stop controlling,
STOP
aerate process chamber.
Exemple d'entrée :
la valeur de consigne est affi-
SET
chée, 250 (hPa)
l'hystérésis est affichée,
SET
h__5 (hPa)
la baisse de pression est affi-
SET
chée, d_45 (hPa)
le temps de baisse est affiché,
SET
SET
t_15 (min)
la pression réelle est affichée.
Démarrage et arrêt du processus :
the
Mode-
démarrage du contrôle, la fe-
MAN
nêtre Mode affiche "H1" (le
voyant "MAN" est allumé)
Si une baisse de pression est program-
mée, le temps de baisse restant est
affiché en alternance avec le mode de
fonctionnement "H1". A la fin du proces-
sus, la fenêtre Mode affiche "End" et
toutes les valves sont fermées.
Si la touche "MAN" est pressée une
deuxième fois pendant le processus, la
chambre de processus est évacuée au
moyen de la pompe à vitesse maximale.
arrêt du contrôle, aération de la
STOP
chambre de processus.
9
Publicité
Table des Matières
