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Prozess starten und Beenden:
Programmregelung starten, (LED
MAN
"MAN" leuchtet)
In der Mode-Anzeige erscheinen Prog-
ramm- und aktuelle Abschnittsnummer,
z.B. "P1.2" (Prog. 1, Abschn. 2). Während
der Haltephasen wird abwechselnd die
Programm-/Abschnittsnummer
noch verbleibende Haltezeit angezeigt.
Wird die "MAN"-Taste während des Prog-
rammlaufes ein zweites Mal gedrückt, so
läuft die Apparartur gegen Endvakuum.
Während des Programmlaufes kann nur
das
momentan
aktivierte
editiert werden.
Am Programmende zeigt das Mode-
Display "End", die Ventile werden ge-
schlossen.
Programm beenden,
STOP
Prozesskammer belüften.
Start and stop program control:
start
MAN
"MAN" is on)
The Mode-display shows program- and
current step-number, e.g. "P1.2" (prog. 1,
step 2). During the hold phases the pro-
gram-/step number is displayed alternat-
und
die
ing with the remaining hold time.
If the "MAN"-key is pressed a second time
during the program run, the process
chamber is evacuated with maximum
pump speed.
During program control only the active
Programm
program can be edited.
At the end of the program the Mode-
display shows "End" and all valves are
closed.
stop program,
STOP
aerate process chamber.
program
control,
(LED
Marche et arrêt du contrôle programmé :
démarrage
du
contrôle
MAN
grammé, (voyant "MAN" allumé)
La fenêtre Mode affiche le numéro du
programme et le numéro de la phase
active, par ex. "P1.2" (prog. 1, phase 2).
Pendant les phases de pause, le numéro
du programme/de la phase est affiché en
alternance avec le temps de pause res-
tant.
Si la touche "MAN" est pressée une
deuxième fois pendant l'exécution du
programme, la chambre de processus est
évacuée au moyen de la pompe à vitesse
maximale.
Pendant le contrôle programmé, seul le
programme actif peut être édité.
A la fin du programme, la fenêtre Mode
affiche "End" et toutes les valves sont
fermées.
arrêt du programme, aération de
STOP
la chambre de processus.
pro-
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