Table des Matières
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4 | Description
4.3.4 Caractéristiques physiques
22 / 80
Caractéristiques physiques
Limite de détection
Taux de fuite minimal
détectable
Plage de mesure
Masses détectables
Spectromètre de masse
Source d'ions
Durée jusqu'à ce que
l'instrument soit opérationnel
-6
1 x 10
mbar l/s (taux de fuite d'équivalence hélium
pour une différence de pression de 1000 mbar par
rapport à 0 mbar)
3 décades
2 à 200 amu
Spectromètre de masse quadripolaire
2 cathodes
< 3 min
ELT3000-Notice-d'utilisation-mina95fr1-10-(2007)
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