Sommaire des Matières pour Pfeiffer A 100 L
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Original A 100 L - A 100 L ES Pompe Roots multi-étagée compacte, pour applications propres...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 5.5.1 Protection de l'installation électrique du client 5.5.2 Raccordement secteur Utilisation Précautions préalables à l'utilisation Différents modes de commande Spécificités liées au fonctionnement du modèle A 100 L ES Utilisation en mode local Utilisation en mode télécommande Surveillance de fonctionnement Maintenance Consignes de sécurité...
- Page 4 Dysfonctionnements Signalement des mauvais fonctionnements et défauts La pompe ne démarre pas La pompe fonctionne, un voyant est allumé La pompe s'arrête de fonctionner Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Accessoires Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités 12.2 Caractéristiques techniques 12.2.1Conditions environnementales...
- Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 2: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 3: Conditions environnementales Tab. 4: Caractéristiques de l'eau de refroidissement Tab. 5: Caractéristiques de l'azote Tab.
- Page 6 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Localisation des étiquettes de sécurité Fig. 2: Mise en place de la sangle de levage Fig. 3: Mise en place de la poignée amovible Fig. 4: Interface homme/machine Fig. 5: Position de fonctionnement Fig.
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 Loc/Rem Interrupteur du mode de commande (local ou télécommande) N2 IN Raccordement du circuit d'azote ou d'air sec comprimé (A 100 L ES) Raccordement de la terre de protection Cette étiquette informe l’utilisateur des risques d’écrasement ou de coupure liés aux pièces en mouvement : éviter de s’approcher et/ou de mettre les mains à...
- Page 9 A propos de ce manuel Cette étiquette indique que l'alimentation électrique doit être coupée avant de connecter et/ou déconnecter la pompe. The main power supply must be switched off before connecting and/or disconnecting the pump. Cette étiquette indique que le produit a été certifié en conformité avec le contrôle de qualité...
- Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 11 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs. ► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installa- tion électrique.
- Page 12 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
- Page 13 Sécurité ► Ne pas metttre sous tension le produit en l'absence des capots. ► Ne jamais déplacer le produit lorsqu'il est en fonctionnement. 2.2 Usage conforme à la destination ● La pompe à vide est utilisée uniquement pour générer du vide en pompant des gaz. ●...
- Page 14 Transport et stockage 3 Transport et stockage 3.1 Réception du produit Etat de la livraison ● S'assurer que le produit n'a subi aucun dommage pendant le transport. ● Si le produit est endommagé, aviser le transporteur et informer le constructeur. ► Maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté que nous lui avons apportée : le déballer uniquement sur son lieu d’utilisation finale.
- Page 15 ► Laisser impérativement en place les obturateurs à l’aspiration et au refoulement tant que la pom- pe n’est pas installée. ► Ne retirer ces obturateurs qu’au moment où la pompe est raccordée à la ligne de pompage. Pfeiffer Vacuum recommande de stocker les produits dans leur emballage de transport d'origine. 15/64...
- Page 16 5. Déconnecter l'alimentation d'azote du raccord. Ne jamais stocker une pompe qui a été utilisée ! La retourner au centre de service (voir chapi- tre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39). 16/64...
- Page 17 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »). 4.1.1 Contenu de la livraison ●...
- Page 18 Installation 5 Installation 5.1 Mise en place Exh. Exh. Fig. 5: Position de fonctionnement Trous pour fixation de la pompe dans un châssis Exh. Refoulement de la pompe IN Aspiration Le produit doit fonctionner en position horizontale en appui sur ses pieds. 1.
- Page 19 Installation Fig. 6: Empilage de deux pompes 1 Pied d'immobilisation (pompe A) Pied d'immobilisation (pompe B) 2 Equerre supérieure (pompe B) Pompe supérieure 3 Vis Pompe inférieure 4 Equerre inférieure (pompe A) Procédure pour empiler deux pompes Le produit est équipé d'équerres qui permettent l'empilage de deux pompes. 1.
- Page 20 Installation 1 Emplacement des vis de fixation Emplacement des accessoires de fixation (fourniture cli- (fournies) ent) Installation des équerres La pompe doit être placée dans son emplacement d'utilisation. 1. Installer les 4 équerres en face des trous prévus à cet effet, repérés par une étiquette "Seismic tie down".
- Page 21 Installation ses. Si les caractéristiques de pollution solides ne sont pas respectées, installer un filtre sur l’arrivée d’eau. WATER IN WATER OUT Raccordement du circuit d'eau Les connecteurs d'eau choisis lors de la commande sont conditionnés séparément. 1. Raccorder les canalisations d'eau sur les connecteurs : –...
- Page 22 Consulter le catalogue des ac- cessoires de raccordement sur le site pfeiffer-vacuum 2. Prévoir, lors du montage du circuit du vide, des accessoires pour isoler la pompe dans la ligne de pompage et faciliter la maintenance (vannes d’isolement à...
- Page 23 Installation 1. Réaliser un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage après installation de la pom- 2. Vérifier régulièrement l'absence de traces de gaz pompés dans l'environnement ainsi que toute trace d'entrée d'air dans la ligne de pompage pendant le fonctionnement. 5.3 Télécommande via le connecteur 16 broches AVIS Sécurité...
- Page 24 Installation Etat de la pompe 9-10 11-12 13-14 Pompe en fonctionnement fermé fermé fermé fermé fermé Pompe arrêtée ouvert fermé fermé fermé ouvert Pompe en fonctionnement + une alerte fermé ouvert fermé fermé fermé Pompe arrêtée + une alarme ouvert fermé...
- Page 25 Installation Contact Fonction Présence d'une alerte Présence d'une alarme pompe Réservé Autorisation de pilotage d'une vanne d'isolement de l'équipement Défaillance pompe Etat de la pompe Pompe en fonctionnement fermé fermé fermé fermé fermé fermé fermé Pompe arrêtée ouvert fermé fermé fermé...
- Page 26 Installation 5.5.1 Protection de l'installation électrique du client Protection par disjoncteur Le réseau de puissance alimentant l’équipement doit être équipé d’un disjoncteur, courbe D suivant IEC 60947-2, conforme aux certifications UL/CSA et à la législation locale. Le pouvoir de coupure en court-circuit doit être d’une valeur minimum de 10 kA.
- Page 27 Installation Verrouillage du connecteur électrique haute tension 1 Prise d'alimentation 2 Verrou 1. Verrouiller le connecteur femelle sur la prise d'alimentation avec le verrou. Absence d'arrêt d'urgence La pompe n'est pas équipée d'un dispositif d'arrêt d'urgence EMS ni de verrouillage électri- que.
- Page 28 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Précautions préalables à l'utilisation AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris- que d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
- Page 29 6.3 Spécificités liées au fonctionnement du modèle A 100 L ES Par sa conception, la pompe A 100 L ES se charactérise par sa réduction de consommation d'énergie grâce à l'option "Energy Saving" : L'option intègre un système qui réduit la puissance consommée lorsqu'elle est en fonctionnement à...
- Page 30 Utilisation 6.5 Utilisation en mode télécommande Configuration préalable 1. Câbler et connecter le connecteur télécommande situé à l'arrière de la pompe (voir chapitre « Té- lécommande via le connecteur 16 broches ») ou (voir chapitre « Télécommande via le connecteur 19 broches »). 2.
- Page 31 Utilisation ● l'arrêt du pompage alors que la commande OFF n'a pas été activée, ● un message via la liaison RS-232 ou RS-485. Message Etat des voyants Etat de la pompe Voyants éteints La pompe ne fonctionne pas. Pump runn- Voyant vert allumé...
- Page 32 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Consignes de sécurité pour la maintenance Les instructions de sécurité concernant les gaz corrosifs ne s’appliquent pas aux pompes destinées au pompage de sas ou de chambre de transfert. En cas de présence accidentelle de gaz corrosifs, l’utilisa- teur doit respecter les précautions suivantes pour déconnecter la pompe de l’installation et intervenir sur le produit.
- Page 33 La périodicité de maintenance dépend du procédé et de l’équipement utilisé. Contacter notre centre de service (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39). Comment nous contacter ? La révision du produit doit être réalisée par du personnel formé par le constructeur. Contac- ter notre centre de service le plus proche à...
- Page 34 Maintenance 4. Déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », pa- 39). 5. Manutention de la nouvelle pompe (voir chapitre « Manutention »). 6. Mise en place d’une nouvelle pompe (voir chapitre « Mise en place »).
- Page 35 Maintenance Procédure de vidange du circuit d'eau 1. Connecter le tuyau de vidange sur le raccord WATER OUT et placer l’autre extrémité dans le réci- pient. 2. Connecter le tuyau d'arrivée sur le raccord WATER IN et raccorder l’autre extrémité au circuit d’air comprimé.
- Page 36 Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équi- pements complets, non modifiés, utilisant des pièces détachées d’origine Pfeiffer Vacuum SAS, ven- dues par Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles.
- Page 37 Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements 9.1 Signalement des mauvais fonctionnements et défauts Lorsqu'un problème survient, l'utilisateur est averti par : ● L'éclairage du voyant relatif au défaut : jaune en cas d'alerte, rouge en cas d'alarme. ● L'activation des contacts défauts sur la prise télécommande. ●...
- Page 38 Dysfonctionnements Symptôme Cause Remède La température du bloc fonc- Problème Vérifier l'alimentation du circuit d'eau. tionnel est trop élevée d'eau Vérifier que les canalisations d'eau ne sont pas obstruées ou l'éven- tuelle présence de fuites. Vérifier que le débit d'eau est à 100 l/h mini. Vérifier les conditions de pompage.
- Page 39 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 40 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 41 Convertisseur RS 485/EtherCAT Boîtier, connecteur RS485, 2 connecteurs 130791 RJ45 ( EtherCAT), câble, dispositif de fixa- tion Obturateurs, griffes de serrage, colliers de serrage, voir catalogue des accessoires de raccordement sur le site Pfeiffer- Vacuum. Choisir des matériaux compatibles avec l’application. 41/64...
- Page 42 3) Conformément aux réglementations CE, les pompes peuvent supporter une variation de tension de ± 10 %. 4) Selon les conditions d’utilisation . Contacter Pfeiffer Vacuum. 5) Mesuré à une distance de 1 m et à une hauteur de 1,6 m conformément à la norme ISO 9614-2...
- Page 43 Caractéristiques techniques et dimensions mbar Torr | mm Hg mbar 0,75 1 · 10 1,000 1,000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7.5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1,000 Torr | mm Hg 1,33 1,33 ·...
- Page 44 Caractéristiques techniques et dimensions 12.2.2 Caractéristiques de l'eau de refroidissement 5,5 à 9 Chlorure (ppm) Chlorure 100 à 20 ppm selon le pH Dureté < 10 °fH (degré français) < 2 milli-équivalent/L < 100 mg/L de CaCO (carbonate de calcium) Résidus à sec <...
- Page 45 Caractéristiques techniques et dimensions Entrée Raccord mâle 1/8’’ NPT Acier inoxydable Entrée Raccord mâle pour tube 1/4’’ Acier inoxydable 12.2.5 Caractéristiques électriques Pouvoir de coupure en court-circuit du sectionneur 10 kA Disjoncteur différentiel GFI (ou RCD) type B compatible réseau électrique type T.T 300 mA pour un réseau de type T.N ou I.T, appliquer une protection adéquate Tab.
- Page 46 Caractéristiques techniques et dimensions Centre de gravité (mm) Charges par pied 22 N 24 N 29 N 28 N Selon norme Semi S2-200 Section 19 Tab. 9: Répartition des charges par pied : cas d'une seule pompe Dimensions pour des pompes empilées Exh.
- Page 47 Caractéristiques techniques et dimensions Centre de gravité (mm) Charges par pied 44 N 48 N 58 N 56 N Selon norme Semi S2-200 Section 19 Tab. 10: Répartition des charges par pied : 2 pompes empilées 47/64...
- Page 48 Caractéristiques techniques et dimensions Fig. 11: Dimensions de la pompe équipée d'équerres parasismiques Répartition des charges sur les équerres parasismiques Cas d'une pompe seule 69 N -129 -272 N -183 -237 -258 -580 N -454 Selon norme Semi S2-200 Section 19 48/64...
- Page 49 Caractéristiques techniques et dimensions Répartition des charges sur les équerres parasismiques Cas de 2 pompes empilées 334 N -300 -368 -356 N -642 -391 -511 -1845 N 1008 -1381 Selon norme Semi S2-200 Section 19 Tab. 11: Répartition des charges sur les équerres parasismiques 49/64...
- Page 50 Annexes 13 Annexes 13.1 Installation de la liaison série RS-232/RS-485 AVIS Risque de perturbation électromagnétique Tensions et courants induisent une multitude de champs électromagnétiques et des signaux parasi- tes. Une installation non conforme aux règles CEM perturbe les autres équipements ou plus généra- lement l’environnement.
- Page 51 Annexes Configuration initiale de la liaison série Désignation Valeur Interface série RS-232 Vitesse de transmission 9600 bauds Longueur d'un mot de données 8 bits Parité aucune (no parity) Bits de stop Echo Connecteur RS-232/RS-485 - 9 broches, mâle Broche Affectation Réception données (RS-232) Transmission données (RS-232) RS-485 : V-...
- Page 52 Annexes V(+) RS-485 communication V(-) 13.3 Paramétrage du protocole de communication RS-232 Lorsque le câblage est réalisé, pour permettre le pilotage et la surveillance de la pompe : 1. Positionner le disjoncteur en position ON : la LED verte située sur la carte RS-232/RS-485 est al- lumée.
- Page 53 Annexes 13.4 Liste des commandes du protocole de communication RS-232 ADR : Numéro affecté à la pompe dans la liaison Paramètres Limite de réglage Modifiable pompe arrêtée 000-255 adr = Adresse de la pompe avant la commande aaa = Nouvelle adresse ECH : Autorisation de renvoi caractère reçu sur la liaison série Description Activé...
- Page 54 SET : Réglage des paramètres de fonctionnement de la pompe Exemple : # adrSETXXYZZZZ<CR> Paramètres Limite de réglage XX= 07 Intervalle de révision : A 100 L/A 200 L/A 180 L. 0 = temps x100 0010-0420 ZZZZ= valeur Exemple : 0010 correspond à 1000 heures SYS : Démarrage/Arrêt la pompe...
- Page 55 4 = Caractère séparateur 5-9 = Temps de fonctionnement 10 = Caractère séparateur 11-15 = Temps de maintenance atteint (A 100 L/A 200 L/A 180 L) 16-45 = Caractère séparateur 46 = Caractère fin de message 13.5 Paramétrage du protocole de communication RS-485 Les commandes sont identiques à...
- Page 56 Annexes Ordre Commande envoyée sur la liaison série, sur 3 caractères Paramètre Format et nombre de caractère dépendent de la commande Caractère de fin Caractère de fin de message. Le réglage est le code ASCII 13 <CR> Le carac tère <LF> n'est pas pris en compte. Exemple : Caractère d'en-tête Adresse de la pompe...
- Page 57 Annexes Ordre Description Fonctions C : état des para- mètres bit 3 Reser- Reser- Reser- Reser- Reser- Reser- Reser- Reser- D : état des para- mètres bit 4 Reser- Reser- Reser- Reser- Reser- Reser- Reser- Reser- E : état des para- mètres bit 5 Reser- Reser-...
- Page 58 Annexes Ordre Description Fonctions b : bit alar- me 1 Reserved (Free) Reserved Reserved Reserved (Free) (Free) c : bit alerte Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved d : bit alar- me 2 Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Reserved Variator Alarme e : bit alerte...
- Page 61 EN 61000-6-2 : 2005 EN 61000-6-4 : 2007 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum SAS...
- Page 62 Déclaration pour produit(s) du type : Pompe Roots multi-étagée, compacte A 100 L A 100 L ES Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité...
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