7.3
Plan de maintenance
Module
Système de vide
Bloc de vannes
Nettoyer vannes, remplacer joints de vanne
Démonter et nettoyer bloc de vannes
Remplacer conduite du gaz de remise à l'air
Aligner Pirani
Recalibrer fuite de test interne
Pompe turbomolé-
Remplacer réservoir de lubrifiant
culaire
Remplacement
mandé)
Système
élec-
trique
Modules
ventila-
Remplacer cartouches filtrantes du capot de
teurs
châssis
Nettoyer ventilateur de châssis et turbo-
pompe
Légende du plan de maintenance
7.4
Intervalles de maintenance
Travaux de maintenance
Standards
des
roulements
•
I
Niveau de service I
•
II
Niveau de service II
•
III
Niveau de service III
•
X
Effectuer les travaux de maintenance en fonction des heures de service ou
des intervalles de temps
•
X
Effectuer les travaux de maintenance en fonction des heures de service
1
•
X
Effectuer les travaux de maintenance en fonction des intervalles de temps
2
•
1
En fonction de l'environnement et de l'application
•
2
En fonction des processus
Pour une meilleure vue d'ensemble, le plan de maintenance du Modul1000 se divise
en trois groupes.
•
Maintenance 1500 heures
•
Maintenance 5000 heures
•
Maintenance 2 ans
Heures de service/ans
1500
5000 15000
1/4
1
X
1
1
X
2
(recom-
1
X
1
1
X
1
Client
Client avec formation INFICON
Technicien de maintenance agréé par INFICON
Niveau
de
service
2
3
III
200000594
X
III
200002002
1
X
I, II,III
200000683
1
X
III
X
I , II , III
200000577
2
X
III
2
I
200001552
I
Travaux de maintenance
Pièces de
rechange
o
n
7-3