Table des Matières
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Matériel nécessaire
Cette section présente l´équipement minimum requis pour la mise à zéro d´un
PM500, voir le tableau 16.
Tableau 16. Equipement minimum requis pour mettre à zéro un PM500
Equipement
6270 A
Capteur de vide
Référence de pression absolue
Pompe à vide
Soupape de mesure (purge)
Tubulure
Raccords/Vannes
Le tableau 17 répertorie l´incertitude de mesure de référence maximale requise
pour la mise à zéro afin de maintenir les spécifications publiées.
Tableau 17. Incertitude de mesure de référence maximale
Modèle
PM500-A120K
PM500-A160K
PM500-A200K
PM500-A350K
PM500-A700K
PM500-A1.4M
PM500-A2M
Remarque
Boîtier/châssis pour modules de pression PM500
Pour les gammes de 700 kPa en absolu, et en
dessous. Reportez-vous au tableau 17 pour
l´incertitude de mesure maximale admissible.
Pour les gammes 1,4 MPa et 2 MPa. Reportez-
vous au tableau 17 pour l´incertitude de mesure
maximale admissible.
Pour les modules PM500 qui sont mis à zéro à un
niveau sous-atmosphérique (700 kPa). Doit être
capable de déclencher une évacuation pour
atteindre une pression <80 Pa.
Si nécessaire.
Si nécessaire.
Incertitude de mesure maximale [±]
0,0035 kPa (26 mTorr)
0,0045 kPa (34 mTorr)
0,0025 kPa (19 mTorr)
0,0100 kPa (75 mTorr)
0,0245 kPa (184 mTorr)
0,050 kPa (0,0073 psi)
0,070 kPa (0,0102 psi)
Pressure Controller/Calibrator
Mise à zéro absolue du PM500
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