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ANNEXE 1 : Source de tension pour générer le plasma
Note :
Ce document n'est qu'un résumé des principales fonctions de l'appareil. Référez-vous au manuel
du fabricant pour de plus amples informations.
1. CONTRÔLES DU PANNEAU AVANT DE LA SOURCE
Il s'agit d'une source de tension 0-600V (1.3 amp. Max.) munie d'un limiteur de courant
qui offre plusieurs protections intégrées. Nous allons décrire le fonctionnement de
chacune des touches de l'appareil de même que les fonctions cachées qui nécessitent de
maintenir une touche enfoncée durant plus de 5 secondes.
1.1 Touche « OUT »
Lorsque la lumière de la touche OUT est allumée, la tension sélectionnée apparaît aux
bornes de la source. Les afficheurs de tension et de courant donnent respectivement la
tension demandée et le courant généré dans le circuit. Si la lumière associée à OUT est
éteinte, la source se trouve en attente (standby). On doit réactiver la touche OUT après
une alarme causée par « FOLD » ou « OVP » pour obtenir de nouveau une tension.
1.2 Touche « REM/LOC »
Lorsque la lumière associée à cette touche est allumée, la source se trouve en mode
« REMOTE », c'est-à-dire qu'elle est contrôlée par un ordinateur. On peut mettre la
source en mode « LOCAL », i.e. manuel, en appuyant sur la touche (à condition que le
programme de l'ordinateur le permette).
1.3 Touche « FOLD »
Lorsque cette touche est sélectionnée, on active une protection qui met la tension aux
bornes de la source à zéro dès que le courant dépasse la valeur limite choisie par

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Table des Matières
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Sommaire des Matières pour Lambda GEN 600-1.3

  • Page 1: Annexe 1 : Source De Tension Pour Générer Le Plasma

    ANNEXE 1 : Source de tension pour générer le plasma Note : Ce document n’est qu’un résumé des principales fonctions de l’appareil. Référez-vous au manuel du fabricant pour de plus amples informations. 1. CONTRÔLES DU PANNEAU AVANT DE LA SOURCE Il s’agit d’une source de tension 0-600V (1.3 amp.
  • Page 2 l’utilisateur. Un code d’alarme apparaît également. Vous verrez comment choisir la valeur du courant limite à l’aide de la touche « PREV » plus loin. 1.4 Touche « OVP-UVP » Cette touche permet de sélectionner le voltage maximum ( OVER VOLTAGE PROTECTION) ainsi que niveau de voltage minimum (UNDER VOLTAGE LEVEL) que la source peut fournir (en pressant de nouveau).
  • Page 3: Fonctions Cachées Ou Supplémentaires

    2. FONCTIONS CACHÉES OU SUPPLÉMENTAIRES 2.1 « SAFE-START et Auto-RESTART » En laissant la touche « OUT » enfoncée un moment, vous pouvez choisir entre deux modes d’opération. Le mode « SAFE-START » place la source à zéro volt à l’allumage avec la fonction «...
  • Page 4 ATTENTION! NE JAMAIS UTILISER UNE TENSION SUPÉRIEURE À 400V SI VOUS UTILISEZ LES INTERFACES RS232/RS485 OU IEEE ET QUE LA BORNE POSITIVE EST MISE À LA TERRE. (Dans l’expérience de plasma, c’est la borne négative de la source qui est normalement mise à...
  • Page 5: Annexe

    ANNEXE 2 : Picoampèremètre et source de tension Keithley-487 servant à mesurer le courant à la sonde Note : Ce document n’est qu’un résumé des principales fonctions de l’appareil. Référez-vous au manuel du fabricant pour de plus amples informations. 1. CONTRÔLES DU PANNEAU AVANT DU Keithley-487 Cet appareil combine les fonctions de source de tension et de picoampèremètre.
  • Page 6 1.2 La touche « OPERATE » Pour que la tension soit appliquée aux bornes de sortie, il faut appuyer sur la touche « OPERATE ». Si le courant limite est dépassé, le voyant lumineux de la touche « OPERATE » clignote. 1.3 La touche «...
  • Page 7 1.11 La touche « LOCAL » Permet d’activer les contrôles du panneau avant. Lorsque l’appareil est piloté par un ordinateur, il devient en mode « REMOTE » et vous n’avez plus accès aux contrôles. 1.12 La touche « Shift » Permet d’accéder aux fonctions en rouge sous les touches.
  • Page 8: Bornes De Tension

    2. BRANCHEMENTS À L’ARRIÈRE DE L’APPAREIL 2.1 Bornes de tension Deux bornes de type « banane » sont utilisées pour la sortie en tension. On peut les utiliser en mode flottant ou relier une des deux à la mise à la terre. 2.2 INTERLOCK Un câble spécial peut être utilisé...
  • Page 9 L’adaptateur triax-coax relie la mise à la terre avec le « LOW » de l’ampèremètre. Le « HIGH » de l’ampèremètre est relié au « LOW » de la source de tension. Ainsi, l’ampèremètre ne se retrouve jamais sous une haute tension. Le « HIGH » de la source de tension est ensuite relié...
  • Page 10 2.5 Les « ANALOG OUTPUTS » Ces connexions qui donnent une tension CC proportionnelle au courant détecté ne sont pas utilisés. L’ordinateur va directement lire les valeurs digitales du courant par le biais de l’interface IEEE.

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