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Geometrie / Sensor
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Sensoreinstellung Combi
Bei Einschalten des Schichtdicken-
Modus „Combi" wird die Messung
in der Abfolge Fe - NFe durchge-
führt.
Bei Proben mit ferromagnetischem
Untergrund wird der Vorgang
bereits nach der Fe - Messung
beendet.
Bei der Messung auf nicht-
magnetischem Untergrund wird die
Abfolge durchlaufen und dauert
deshalb etwas länger.
Hinweis:
Bei eingeschalteter STATISTIK wer-
den alle Schichtdickenwerte unab-
hängig von der verwendeten Son-
de in den Speicher übernommen.
Bei falschem Substrat oder zu
hoher Schichtdicke wird „Infi" in
den Speicher geschrieben.
Nach Abschalten des Gerätes
bleibt die letzte Einstellung aktiv.
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