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Alpha Step 500 : Manuel utilisateur CMi
1999
dernière mise à jour : 11 Octobre 2010
EPFL - STI - CMI
ALPHA STEP 500
L'équipement Alpha-Step 500 permet de caractériser un profil de surface d'une plaque
par balayage avec un stylet dont la pointe est en diamant. Le tracé obtenu est la
représentation de la vue en coupe de la zone mesurée.
Il peut mesurer des hauteurs de marche de l'ordre 50Å au minimum sur une longueur
maximale de scan de 10mm. La machine est dimensionnée pour accueillir des wafers de
100mm au maximum.
Ne pas mettre la pointe dans un trou ou en dehors du wafer.
Pour mesurer des « steps » de plus de 500 μm, toujours le faire à la
descente :
1) allumer l'écran de l'ordinateur
θ
2) Presser Z-
et vérifier que la table est bien en position basse
3) Charger l'échantillon
4) Mettre le vacuum (position vac) et presser sur LOAD
5) Descendre la pointe jusqu'au contact ↓
NE PAS DEPLACER LA TABLE QUAND LA POINTE EST EN
CONTACT
CMi / J. Pernollet
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Sommaire des Matières pour tencor ALPHA STEP 500
- Page 1 Alpha Step 500 : Manuel utilisateur CMi 1999 dernière mise à jour : 11 Octobre 2010 EPFL - STI - CMI ALPHA STEP 500 L’équipement Alpha-Step 500 permet de caractériser un profil de surface d'une plaque par balayage avec un stylet dont la pointe est en diamant. Le tracé obtenu est la représentation de la vue en coupe de la zone mesurée.
- Page 2 Alph ha Step 500 0 : Manuel utilisateur 1999 dernièr re mise à jo our : 11 Oct tobre 2010 fois sur ↑ p 6) P Presser une pour relever r légèrement t la pointe 7) D Déplacer à l l’endroit de mesure à...
- Page 3 Alpha Step 500 : Manuel utilisateur CMi 1999 dernière mise à jour : 11 Octobre 2010 • Déplacer cette boite sur la région à agrandir à l’aide des boutons flèches ou en utilisant le « trackball » • Presser F1 pour ancrer la boite et utiliser les boutons flèches ou le «...