Télécharger
Partager
Imprimer la page
  1. Manuels
  2. Marques
  3. Aglient Manuels
  4. Pompes
  5. Turbo-V 2300 TwisTorr
  6. Mode d'emploi

Aglient Turbo-V 2300 TwisTorr Mode D'emploi

Masquer les pouces

Publicité

Les langues disponibles
  • FR

Les langues disponibles

  • FRANÇAIS, page 41

Liens rapides

Télécharger ce manuel
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-901-017-01 (C)
11/2017
Turbo-V 2300 TwisTorr
Pumps
Models
9696000
9696001
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

Publicité

loading

Sommaire des Matières pour Aglient Turbo-V 2300 TwisTorr

  • Page 1 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps Models 9696000 9696001 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning...

  • Page 2: Safety Notices

    Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
  • Page 3 Turbo-V 2300 TwisTorr Turbo-V 2300 TwisTorr Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 3/262...
  • Page 4 Turbo-V 2300 TwisTorr 4/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 5: Table Des Matières

    Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso 23 Manutenzione 25 Smaltimento Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 32 Installation 34 Gebrauch Wartung Entsorgung 40 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 5/262...
  • Page 6 Información general 57 Almacenamiento Preparación para la instalación 60 Instalación 62 Uso 65 Mantenimiento 67 Eliminación 68 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais 71 Armazenagem 73 6/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 7 Algemene informatie Opslag Uitpakken 88 Installatie Gebruik Onderhoud 95 Afvalverwerking 96 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 99 Opbevaring 101 Forberedelse før installation 102 Installation 104 Anvendelse 107 Vedligeholdelse 109 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 7/262...
  • Page 8 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 125 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 127 Lagring Klargjøre til installasjon 130 Installasjon 132 Bruk Vedlikehold 137 Eliminering 138 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja 8/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 9 Általános Információ 155 Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 167 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 170 Ogólne informacje Magazynowanie 173 Przygotowanie do instalacji 174 Instalacja Użytkowanie Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 9/262...
  • Page 10 14 Návod na Obsluhu 197 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 212 10/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 11 Installation 232 Use 235 Maintenance Disposal 17 Technical Information 239 Description of the Turbo-V 2300 TwisTorr 240 Technical Specification 242 Turbo-V 2300 TwisTorr Outline Inlet Screen Installation 246 Water Cooling Connection Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 11/262...
  • Page 12 Contents Pump Purging and Venting 249 High Vacuum Flange Connection 252 Fore-Vacuum Pump Connection 253 Connection C-Electrical 253 Pump used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 256 12/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 13: Istruzioni Per L'uso

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 13/262...

  • Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è AVVERTENZA! necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 15: Informazioni Generali

    L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (33300 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. La Turbo-V 2300 TwisTorr è totalmente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
  • Page 16 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 17: Immagazzinamento

    10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 17/262...

  • Page 18: Preparazione Per L'installazione

    Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 2300 TwisTorr e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbopompa è...
  • Page 19 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Nell’imballo della Turbo-V 2300 TwisTorr sono compresi: pompa inlet screen (montato) questo manuale su CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 19/262...

  • Page 20: Installazione

    (AWG18). Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento della ATTENZIONE! turbopompa al sistema. Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbopompa è stata ATTENZIONE! fissata al sistema. 20/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 21 In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. La Turbo-V 2300 TwisTorr deve essere collegata ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). La Turbo-V 2300 TwisTorr deve essere installata in posizione verticale (con la flangia verso l’alto o verso il basso).
  • Page 22 Bullone con filettatura M10 30 Nm AVVERTENZA! La Turbo-V 2300 TwisTorr non può essere fissata tramite la sua base. Il sistema può essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F. AVVERTENZA! Il mancato rispetto di queste istruzioni d’installazione, nel caso in cui si verifichi un guasto al rotore, può...

  • Page 23: Uso

    (Azoto o Elio) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). Non usare mai la pompa in presenza di gas o vapori corrosivi che possano ATTENZIONE! danneggiare i materiali interni alla pompa. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 23/262...
  • Page 24 Azoto, Argon e gas più leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti dell'Argon si prega di prendere contatti con l'Assistenza Tecnica della Agilent per informazioni. 24/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 25: Manutenzione

    "Request for Return" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione. Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 25/262...

  • Page 26: Smaltimento

    Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 26/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 27: Gebrauchsanleitung

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/262...

  • Page 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener WARNUNG! vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 28/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 29: Allgemeine Informationen

    Sicherheit und um Schäden am Gerät zu vermeiden die Gebrauchsanweisung zu Rate ziehen muss. Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener es an die Masse anschließen soll. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 29/262...
  • Page 30 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 30/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 31: Lagerung

    Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 31/262...

  • Page 32: Vor Der Installation

    VORSICHT! Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Die Turbo-V 2300 TwisTorr kann durch ledigliche Einwirkung von HINWEIS atmosphärischen Bedingungen nicht beschädigt werden. Es wird indes empfohlen, die Pumpe bis zur Installation am System geschlossen und versiegelt zu halten.
  • Page 33 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Verpackungsinhalt der Turbo-V 2300 TwisTorr: Pumpe Inlet-Screen (montiert) Betriebsanleitung auf CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 33/262...

  • Page 34: Installation

    (AWG18). Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der Turbopumpe an das VORSICHT! System entfernt werden. Den Schutz der Steckverbinder erst entfernen, wenn die Turbopumpe am System VORSICHT! befestigt ist. 34/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 35 Modell Turbo-V 2300 TwisTorr muss in aufrechter Position installiert werden (mit dem Flansch nach oben oder unten). Modell Turbo-V 2300 TwisTorr ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 40000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
  • Page 36 ANZUGSMOMENT ISO 250 F Mutterschraube mit Gewinde M10 30 Nm Die Turbo-V 2300 TwisTorr kann nicht über ihren Sockel befestigt werden. Zur WARNUNG! Befestigung des Systems kann nur der Flansch ISO 250F verwendet werden. WARNUNG! Die Nichtbeachtung dieser Anleitung, sollte sich ein Schaden am Rotor ergeben, kann zur Loslösung der Pumpe vom System führen mit Schäden an...

  • Page 37: Gebrauch

    (Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information"). Die Pumpe niemals im Beisein von Gas oder korrosiven Dämpfen benutzen, weil VORSICHT! sie das Material im Innern der Pumpe beschädigen könnten. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 37/262...
  • Page 38 Die Pumpe ist für einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon und leichteren Gasen konzipiert. Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist, die schwerer als Argon sind, ist mit dem Technischen Kundendienst von Agilent Rücksprache zu halten. 38/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 39: Wartung

    örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen. Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 39/262...

  • Page 40: Entsorgung

    Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 40/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 41: Mode D'emploi

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales 43 Stockage Préparation pour l‘installation 46 Installation Utilisation Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 41/262...

  • Page 42: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 42/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 43: Indications Générales

    Les pompes de la série Turbo-V 2300 TwisTorr sont des pompes turbomoléculaires destinées à des applications en haut-vide ou ultra- haut vide, en mesure de pomper de nombreux types de gaz ou de composés gazeux.

  • Page 44: Cette Notice Utilise Les Signes Conventionnels Suivants

    Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte. NOTE 44/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 45: Stockage

    à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en ATTENTION! usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 45/262...

  • Page 46: Préparation Pour L'installation

    Mode d’emploi Préparation pour l‘installation Préparation pour l‘installation Le Turbo-V 2300 TwisTorr est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
  • Page 47 Mode d’emploi Préparation pour l‘installation La pompe Turbo-V 2300 TwisTorr comprend : Pompe Protection d’entrée (montée) CD-Rom contenant cette notice d’utilisation Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 47/262...

  • Page 48: Installation

    Ne jamais retirer la protection boulonnée avant le branchement de la turbo ATTENTION! pompe au système. Enlever la protection des connecteurs seulement après avoir fixée la turbopompe ATTENTION! au système. 48/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 49 Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le Turbo-V 2300 TwisTorr doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le Turbo-V 2300 TwisTorr doit être installé en position verticale (avec la bride vers le haut ou vers le bas).
  • Page 50 Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical Information". 50/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 51: Utilisation

    à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (Azote ou Hélium) pour protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information"). Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 51/262...
  • Page 52 La pompe est conçue pour garantir un transfert élevé de l’azote, de l’argon et des gaz plus légers. En cas de pompage de gaz plus lourds que l’argon, contacter le service technique Agilent pour informations. 52/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 53: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien Le Turbo-V 2300 TwisTorr n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...

  • Page 54: Mise Au Rebut

    œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 54/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 55: Manual De Istrucciones

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 56 Información general Almacenamiento 59 Preparación para la instalación 60 Instalación Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 55/262...

  • Page 56: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    ¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 56/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 57: Información General

    Las bombas de la serie Turbo-V 2300 TwisTorr son bombas turbomoleculares para aplicaciones de alto y ultra alto vacío, en grado de bombear muchos tipos de gases o de compuestos gaseosos.
  • Page 58 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 58/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 59: Almacenamiento

    En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 59/262...

  • Page 60: Preparación Para La Instalación

    Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. La Turbo-V 2300 TwisTorr no puede sufrir daños sólo por quedar expuesta a la NOTA acción de la atmósfera. No obstante, se aconseja mantener la bomba cerrada y sellada hasta el momento de instalarla en el sistema a fin de prevenir la contaminación del mismo.
  • Page 61 Manual de istrucciones Preparación para la instalación El embalaje de la Turbo-V 2300 TwisTorr contiene: bomba inlet screen (montado) el presente manual en CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 61/262...

  • Page 62: Instalación

    No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la bomba de turbina ¡ATENCIÓN! al sistema. Quitar la protección de los conectores solamente después de haber fijado al ¡ATENCIÓN! sistema la turbobomba. 62/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 63 Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El Turbo-V 2300 TwisTorr ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). El Turbo-V 2300 TwisTorr debe ser instalado en una posición vertical (con la brida hacia arriba o hacia abajo).
  • Page 64 Perno con rosca M10 30 Nm ¡ADVERTENCIA! La Turbo-V 2300 TwisTorr no puede ser fijada por medio de su ba-se. El sistema puede fijarse únicamente mediante su brida ISO 250F. El incumplimiento de estas instrucciones de instalación, en el caso de que se ¡ADVERTENCIA!

  • Page 65: Uso

    Helio) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). Nunca usar la bomba en presencia de gases o vapores corrosivos que puedan ¡ATENCIÓN! dañar los materiales del interior de la bomba. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 65/262...
  • Page 66 En caso de que deban bombearse gases más pesados que el argón se ruega tomar contacto con la Asistencia Técnica de Agilent a fin de recibir mayores informaciones. 66/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 67: Mantenimiento

    Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo. En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo respetando las normas nacionales específicas. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 67/262...

  • Page 68: Eliminación

    Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 68/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 69: Manual De Istruções

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 69/262...

  • Page 70: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 70/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 71: Informações Gerais

    O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (31800 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O Turbo-V 2300 TwisTorr é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
  • Page 72 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! observados, podem causar danos à aparelhagem. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA 72/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 73: Armazenagem

    Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 73/262...

  • Page 74: Preparação Para A Instalação

    Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O Turbo-V 2300 TwisTorr é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
  • Page 75 Manual de Istruções Preparação para a instalação A embalagem da Turbo-V 2300 TwisTorr contém: bomba inlet screen (montado) este manual em CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 75/262...

  • Page 76: Instalação

    (Fase+Neutro+Terra). A secção do cabo deve ser no mínimo de 0,75 mm² (AWG18). Não remover a cobertura aparafusada antes de ligar a turbobomba ao sistema. CUIDADO! Retirar a protecção dos conectores somente depois que a turbobomba estiver CUIDADO! fixada ao sistema. 76/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 77 (consultar esquema em "Technical Information"). O Turbo-V 2300 TwisTorr deve ser instalado na posição vertical (com a flange para cima ou para baixo). Fixar o Turbo-V 2300 TwisTorr em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 40000 Nm ao redor do próprio eixo.
  • Page 78 Parafuso com rosca M10. 30 Nm ATENÇAO! A Turbo-V 2300 TwisTorr não pode ser fixada por meio da sua base. O sistema pode ser segurado só por intermédio da sua flange ISO 250F. ATENÇAO! O desrespeito a estas instruções de instalação, no caso em que se verifique um defeito no rotor, pode implicar no desengate da bomba do sistema com danos às coisas ou sérios danos ou a morte das pessoas.

  • Page 79: Utilização

    (Azoto ou Hélio) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”). Jamais usar a bomba na presença de gases ou vapores corrosivos que possam CUIDADO! danificar os materiais no interior da bomba. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 79/262...
  • Page 80 Azoto, Argon e gases mais leves. Se houver a necessidade de bombear gases mais pesados que o Argon, aconselha-se a entrar em contacto com a Assistência Técnica da Agilent para obter maiores informações. 80/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 81: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Manutenção O Turbo-V 2300 TwisTorr não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...

  • Page 82: Eliminação

    Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 82/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 83: Bedrijfshandleiding

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie 85 Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Onderhoud Afvalverwerking 96 Vertaling van de originele instructies 83/262...

  • Page 84: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 84/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 85: Algemene Informatie

    De pompen van de serie Turbo-V 2300 TwisTorr zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultra-hoge vacuümtoepassingen, en kunnen vele soorten gas of gasvormige verbindingen verpompen.
  • Page 86 Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 86/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 87: Opslag

    Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 87/262...

  • Page 88: Uitpakken

    Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 2300 TwisTorr niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp aan het systeem is bevestigd.
  • Page 89 Bedrijfshandleiding Uitpakken In de verpakking van de Turbo-V 2300 TwisTorr zijn aanwezig: pomp inlet screen (gemonteerd) deze handleiding op CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 89/262...

  • Page 90: Installatie

    Verwijder niet de opgeboute afdekking voordat de turbopomp met het systeem VOORZICHTIG! wordt verbonden. Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp VOORZICHTIG! aan het systeem is bevestigd. 90/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 91 De Turbo-V 2300 TwisTorr moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical Information"). De Turbo-V 2300 TwisTorr moet rechtop (met de flens naar boven of naar beneden) worden geïnstalleerd. Bevestig de Turbo-V 2300 TwisTorr in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 40000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
  • Page 92 ISO 250 F Bout met M10 schroefdraad 30 Nm WAARSCHUWING! De Turbo-V 2300 TwisTorr kan niet bevestigd worden via zijn basis. Het systeem mag uitsluitend bevestigd worden via zijn ISO 250F flens. WAARSCHUWING! Indien deze installatie-instructies niet worden opgevolgd kan bij optreden van een defect aan de rotor de pomp van het systeem losraken met als gevolg schade aan voorwerpen of ernstig letsel of levensgevaar voor personen.

  • Page 93: Gebruik

    (zie bijlage “Technical Information”). Gebruik de pomp nooit bij corrosieve gassen of dampen die het materiaal aan de VOORZICHTIG! binnenkant van de pomp kunnen beschadigen. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 93/262...
  • Page 94 Argon en lichtere gassen ontworpen. Indien de noodzaak bestaat om zwaardere gassen dan Argon te pompen, wordt u verzocht om contact op te nemen met de Technische Service van Agilent voor informatie. 94/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 95: Onderhoud

    Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 95/262...

  • Page 96: Afvalverwerking

    Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 96/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 97: Istruktionsbog

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Vedligeholdelse 109 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 97/262...

  • Page 98: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er ADVARSEL! det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 98/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 99: Generel Information

    Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (33000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Turbo-V 2300 TwisTorr er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af...
  • Page 100 Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 100/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 101: Opbevaring

    Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 101/262...

  • Page 102: Forberedelse Før Installation

    Turbo-V 2300 TwisTorr leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 2300 TwisTorr ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen er blevet fastgjort til systemet.
  • Page 103 Istruktionsbog Forberedelse før installation Emballagen med Turbo-V 2300 TwisTorr indeholder: Pumpe Indgangsflange (monteret) Cd-rom med denne manual Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 103/262...

  • Page 104: Installation

    (Fase+Neutral+Jord). Ledningens snit skal mindst være på 0,75 mm (AWG18). Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er blevet sluttet til FORSIGTIG! systemet. Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen er blevet FORSIGTIG! fastgjort til systemet. 104/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 105 Turbo-V 2300 TwisTorr skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). Turbo-V 2300 TwisTorr må installeres i oppreist stilling (med flensen oppover eller nedover). Fastgør Turbo-V 2300 TwisTorr i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på...
  • Page 106 Bolt med M10 gevind 30 Nm ADVARSEL! Turbo-V 2300 TwisTorr pumpen kan ikke fastgøres ved hjælp af dens sokkel. Pumpen kan kun monteres ved hjælp af dens ISO 250F flange. ADVARSEL! Den manglende overholdelse af installationsanvisningerne, hvis der opstår en fejl på...

  • Page 107: Anvendelse

    ædelgasser (kvælstof eller helium) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”). Pumpen må aldrig bruges hvis der er gasser eller ætsende dampe, der kan FORSIGTIG! beskadige pumpens indvendige dele. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 107/262...
  • Page 108 Pumpen er projekteret til at sikre en høj pumpekapacitet for kvælstof, argon og lettere gasarter. Kontakt Agilents tekniske servicecenter vedrørende yderligere oplysninger, hvis det er nødvendigt at pumpe gasarter, som er tungere end argon. 108/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 109: Vedligeholdelse

    “Request for Return”, der er vedlagt denne instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse. Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 109/262...

  • Page 110: Bortskaffelse

    For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 110/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 111: Bruksanvisning

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 112 Allmän Information Förvaring Förberedelser för installationen 116 Installation Användning Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 111/262...

  • Page 112: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 112/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 113: Allmän Information

    Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga tillsatsämnen används i Turbo-V 2300 TwisTorr, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen.
  • Page 114 Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 114/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 115: Förvaring

    De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 115/262...

  • Page 116: Förberedelser För Installationen

    Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p OBSERVER! g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Pumpen Turbo-V 2300 TwisTorr skadas inte av normal luftpåverkan. Det OBSERVERA rekommenderas dock att hålla pumpen stängd och förseglad tills den installeras i systemet.
  • Page 117 Bruksanvisning Förberedelser för installationen Turbo-V 2300 TwisTorr förpackning innehåller: Pump Intagsfläns (monterad) Denna bruksanvisning på CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 117/262...

  • Page 118: Installation

    Kabelns tvärsnitt ska vara minst 0,75 mm (AWG18). Ta inte bort skruvlocket förrän turbopumpen ansluts till systemet. OBSERVER! Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på OBSERVER! systemet. 118/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 119 Turbo-V 2300 TwisTorr måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical Information"). Turbo-V 2300 TwisTorr måste installeras i upprätt läge (med flänsen uppåt eller nedåt). Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på...
  • Page 120 ISO 250 F M10 bult 30 Nm VARNING! Turbo-V 2300 TwisTorr kan inte fästas med hjälp av sitt fundament. Systemet kan endast fästas med hjälp av flänsen ISO 250F. VARNING! Om dessa installtionsinstruktioner inte iakttas, om det uppstår skada på...

  • Page 121: Användning

    ädelgas (Kväve eller Helium) för att skydda lagren (se bilagan “Technical Information”). Använd aldrig pumpen om det finns frätande gaser eller ångor som kan skada OBSERVER! pumpens invändiga material. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 121/262...
  • Page 122 Pumpen är konstruerad för att pumpa stora mängder kväve, argon och lättare gaser. Om du skulle behöva pumpa gaser som är tyngre än argon, kontakta Agilents tekniska service för information. 122/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 123: Underhåll

    "Request for Return" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 123/262...

  • Page 124: Bortskaffning

    återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 124/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 125: Instruksjon Manual

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 127 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 125/262...

  • Page 126: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper

    For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 126/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 127: Generell Informasjon

    Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 33000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V 2300 TwisTorr har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å...
  • Page 128 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 128/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 129: Lagring

    Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres FORSIKTIG! til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 129/262...

  • Page 130: Klargjøre Til Installasjon

    Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 2300 TwisTorr pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
  • Page 131 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon I esken med Turbo-V 2300 TwisTorr finnes følgende: Pumpe Inngangsflens (montert) Denne veiledningen på CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 131/262...

  • Page 132: Installasjon

    + jording). Kabelens tverrsnitt skal være minst 0,75 mm (AWG18). Ikke ta av det fastskrudde dekslet før turbopumpen koples til systemet. FORSIKTIG! Fjern beskyttelsen på koplingsstykket kun etter at turbopumpa er festet til FORSIKTIG! systemet. 132/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 133 Turbo-V 2300 TwisTorr må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Turbo-V 2300 TwisTorr skal installeres i opret stilling (med flangen opad eller nedad). Fest Turbo-V 2300 TwisTorr i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 40000 Nm rundt aksen.
  • Page 134 Bolt med M10 gjenge 30 Nm ADVARSEL! Turbo-V 2300 TwisTorr kan ikke festes med bruk av bunnen. Systemet kan kun festes ved hjelp av sin egen ISO 250F flens. ADVARSEL! Manglende respekt for disse installeringsinstruksene kan føre til feil på rotor og dermed til at pumpa løsner fra systemet.

  • Page 135: Bruk

    (nitrogen eller helium) for å beskytte lagrene (se vedlegget "Technical Information"). Bruk aldri pumpen med etsende gasser eller damp som kan skade materiale FORSIKTIG! inne i pumpen. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 135/262...
  • Page 136 Pumpen er utviklet for å pumpe store mengder med nitrogen, argon og lettere gasser. Hvis det er nødvendig å pumpe gasser som er tyngre enn argon, vennligst kontakt Agilent’s tekniske service for informasjon. 136/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 137: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 2300 TwisTorr er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.

  • Page 138: Eliminering

    å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 138/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 139: Ohjekäsikirja

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 139/262...

  • Page 140: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 140/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 141: Yleisiä Tietoja

    "Technical Information”. Tämä laitteeseen kiinnitetty symboli osoittaa käyttäjälle, että käyttöohjeisiin on tutustuttava sekä oman turvallisuuden että laitteen vahingoittumisen estämisen kannalta. Laitteesa on tämä merkki kun käyttäjän on maadoitettava laite. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 141/262...
  • Page 142 Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 142/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 143: Varastointi

    Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 143/262...

  • Page 144: Valmistelut Asennusta Varten

    Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Turbo-V 2300 TwisTorr ei vaurioidu ilmalle altistuessaan. On kuitenkin HUOM suositeltavaa säilyttää pumppu suljettuna ja sinetöitynä, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten estetään järjestelmän likaantuminen.
  • Page 145 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 Turbo-V 2300 TwisTorr -pumpun pakkauksessa on: pumppu sisääntulon laippa (asennettu) tämä ohjekirja CD-ROM:lla Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 145/262...

  • Page 146: Asennus

    Johdon halkaisijan on oltava vähintään 0,75 mm (AWG18). Älä poista pulteilla kiinnitettyä kantta ennen turbopumpun kytkemistä HUOMIO! järjestelmään. Poista liittimien suoja ainoastaan sen jälkeen, kun turbopumppu on kiinnitetty HUOMIO! järjestelmään. 146/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 147 Information” -liitteen kaaviota). Turbo-V 2300 TwisTorr on asennettava pystyasentoon (laipan ylös- tai alaspäin). Kiinnittäkää Turbo-V 2300 TwisTorr vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 40000 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 147/262...
  • Page 148 KIRISTYS- MOMENTTI ISO 250 F Pultti M10-kierteillä 30 Nm VAROITUS! Turbo-V 2300 TwisTorr -pumppua ei voida kiinnittää perustasta. Järjestelmä voidaan kiinnittää ainoastaan ISO 250F laippaa käyttämällä. VAROITUS! Näiden asennusohjeiden noudattamatta jättäminen saattaa mahdollisen roottorivian sattuessa johtaa pumpun irtoamiseen järjestelmästä, mistä voi esinevahinkojen lisäksi seurata vakavia henkilövahinkoja ja jopa...

  • Page 149: Käyttö

    (Typpi tai Helium) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). Älä käytä pumppua syövyttävien kaasujen tai höyryjen läheisyydessä: ne HUOMIO! saattavat vahingoittaa pumpun sisämateriaaleja. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 149/262...
  • Page 150 Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Pumppu on suunniteltu kuljettamaan suuria määriä typpeä, argonia ja kevyitä kaasuja. Jos joudut pumppaamaan argonia painavampia kaasuja, pyydä lisätietoja Agilentin teknisestä palvelusta. 150/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 151: Huolto

    "Request for Return” -kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 151/262...

  • Page 152: Hävittäminen

    Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 152/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 153: Felhasználói Kézikönyv

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános Információ 155 Tárolás Előkészítés telepítésre 158 Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 167 Az eredeti utasítás fordítása 153/262...

  • Page 154: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 154/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 155: Általános Információ

    általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konk-rét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A Turbo-V 2300 TwisTorr sorozat szivattyúi olyan magas vagy ultramagas vákuumalkalmazáshoz való turbomolekuláris szivattyúk, amelyek képesek sok gáztípust vagy vagy gázszerű összetételt szivattyúzni.
  • Page 156 VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A megjegyzések a szövegből vett fontos információt tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 156/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 157: Tárolás

    Ha bármely okból kifolyólag a tárolási idő ezt meghaladja, vissza kell küldeni a FIGYELEM! szivattyút a gyárba. Valamennyi információ elérése érdekében kéretik kapcsolatba lépni, a Agilent helyi képviselőjével. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 157/262...

  • Page 158: Előkészítés Telepítésre

    Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. A környezetnek való szokásos kitettség nem károsíthatja a Torbo-V 3K-G-t. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos azt zárva és tömítve tartani, amíg nem telepítik a rendszerbe. Ez megakadályozza a rendszer szennyeződését. 158/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 159 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre A Turbo-V 2300 TwisTorr csomag a következőket tartalmazza: szivattyú bemeneti szűrő (felszerelve) a kézikönyv CD-ROM-on Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 159/262...

  • Page 160: Telepítés

    Ne távolítsa el a csavarozott kupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való FIGYELEM! csatlakoztatása előtt. Csak azután vegye le a csatlakozók védőburkolatát, ha a turbószivattyú már FIGYELEM! rögzítve van a rendszerhez. 160/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 161 Information”. A Turbo-V 2300 TwisTorr-t elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). A Turbo-V 2300 TwisTorr kell telepíteni álló helyzetben (a karima felfelé vagy lefelé). Rögzítse a Turbo-V 2300 TwisTorr-t stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 33000 Nm tengely körüli nyomatéknak.
  • Page 162 ISO 250 F M10 csavarok 30 Nm VESZÉLY! A Turbo-V 2300 TwisTorr nem rögzítehető az alapjával. A rendszer csak ISO 250F karimával rögzíthető. VESZÉLY! Ezen installációs utasítások figyelmen kívül hagyása, a rotor meghibásodása esetén, a rendszerből a szivattyú leválását eredményezheti, ami dologi kárt vagy komoly személyi sérülést vagy halált okozhat.
  • Page 163 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A Turbo-V 2300 TwisTorr a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához FIGYELEM! tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A Turbo-V 2300 TwisTorr-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső...

  • Page 164: Használat

    érdekében a szivattyúhoz közömbös gázt (Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information” függelék). A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy gőz jelenlétében FIGYELEM! használni, amely károsíthatja a szivattyú belsejében lévő anyagokat. 164/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 165 Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A szivattyút N , Ar és könnyebb gázok nagyteljesítményű szivattyúzásához tervezték. Ha az Ar-nél nehezebb gázokat kell szivattyúznia, kérem, információért forduljon a Agilent műszaki támogatáshoz. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 165/262...

  • Page 166: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 2300 TwisTorr nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő elektromos szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...

  • Page 167: Megsemmisítés

    és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 167/262...
  • Page 168 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 168/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 169: Podrecznik Instrukcji

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 171 Magazynowanie 173 Przygotowanie do instalacji 174 Instalacja Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 169/262...

  • Page 170: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 170/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 171: Ogólne Informacje

    Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę o wysokiej prędkości (max. 33000 obr./min) napędzaną przez elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. Turbo-V 2300 TwisTorr jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających, i dlatego też jest odpowiedni do zastosowań gdzie jest wymagana tzw.”czysta” próżnia.
  • Page 172 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 172/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 173: Magazynowanie

    Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 173/262...

  • Page 174: Przygotowanie Do Instalacji

    UWAGA! części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Turbo-V 2300 TwisTorr nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na PRZYPIS działanie atmosfery. Zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała dobrze zamknięta. Jest to w celu zabezpieczenia przed zanieczyszczeniem systemu.
  • Page 175 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji ć W opakowaniu zespołu Turbo-V 2300 TwisTorr znajdują się: pompa inlet screen (zamontowany) instrukcja na CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 175/262...

  • Page 176: Instalacja

    Kabel musi mieć przekrój co najmniej 0,75 mm (AWG18). Nie zdejmować zamocowanej śrubami pokrywy przed podłączeniem turbopompy UWAGA! do systemu. Zdjąć obudowę konektorów tylko wtedy, gdy turbopompa została przymocowana UWAGA! do systemu. 176/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 177 (patrz schemat w “ Technical Information”). Turbo-V 2300 TwisTorr musi być zainstalowany w pozycji pionowej (z kołnierzem w górę lub w dół). Zamocować Turbo-V 2300 TwisTorr w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 40000 Nm wokół własnej osi.
  • Page 178 ISO 250 F Śruba mocująca z gwintem M10 30 Nm ZAGROZENIE! Turbo-V 2300 TwisTorr nie może być zamocowany poprzez własną podstawę. System może być zamocowany tylko poprzez własny kołnierz ISO 250F. ZAGROZENIE! Nieprzestrzeganie podanych instrukcji dotyczących instalacji, w przypadku wystąpienia usterki wirnika, może spowodować odłączenie pompy od układu, co z kolei może być...

  • Page 179: Użytkowanie

    (Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information” függelék). A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy gőz jelenlétében UWAGA! használni, amely károsíthatja a szivattyú belsejében lévő anyagokat. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 179/262...
  • Page 180 Pompa jest zaprojektowana aby posiadała wysoki przepływ Azotu, Argonu i innych lżejszych gazów. W przypadku kiedy zaistnieje potrzeba pompowania cięższych gazów od Argonu, w celu informacji, należy skontaktować się z Serwisem Technicznym firmy Agilent. 180/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 181: Konserwacja

    –kopia- karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką. Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum sprawy. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 181/262...

  • Page 182: Przetworstwo Odpadow

    , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 182/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 183: Návod K Použití

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184 Všeobecné informace 185 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 193 Údržba Likvidace 196 Překlad originálního návodu 183/262...

  • Page 184: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 184/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 185: Všeobecné Informace

    činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěvy řady Turbo-V 2300 TwisTorr jsou turbomolekulární vývěvy pro aplikace vysokého a ultra vysokého vakua, schopné čerpat mnohé druhy plynů nebo plynných sloučenin. Nejsou vhodné pro čerpání kapalin nebo pevných částic.
  • Page 186 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 186/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 187: Uskladnění

    10 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 187/262...

  • Page 188: Příprava K Instalaci

    POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 2300 TwisTorr nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému. Tím se zamezí znečištění tohoto zařízení.
  • Page 189 Návod k Použití Příprava k instalaci Balení Turbo-V 2300 TwisTorr obsahuje: vývěvu vstupní síto (namontováno) tento návod k použití na CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 189/262...

  • Page 190: Instalace

    + zemnicí vodič). Průřez vodičů kabelu musí být nejméně 0,75 mm (AWG18). Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací POZOR! víko. Odejměte zakrytí konektorů až poté, co bude turbovývěva připevněná k systému. POZOR! 190/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 191 Vývěva Turbo-V 2300 TwisTorr se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information"). Turbo-V 2300 TwisTorr musí být instalován ve svislé poloze (s přírubou směrem nahoru nebo dolů). Vývěvu Turbo-V 2300 TwisTorr upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné...
  • Page 192 ISO 250 F šrouby M10 30 Nm NEBEZPEČÍ! Vývěvu Turbo-V 2300 TwisTorr nelze připevnit pomocí její podstavy. Toto zařízení lze připevnit pouze pomocí jeho příruby ISO 250F. NEBEZPEČÍ! Nedodržení těchto pokynů pro instalaci může v případě poškození rotoru způsobit odpojení čerpadla od systému s následnými škodami na majetku nebo ublížením na zdraví...

  • Page 193: Použití

    (dusík nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz “Technical Information"). Nikdy nepoužívejte vývěvu v přítomnosti korozivních plynů nebo výparů, které by POZOR! mohly poškodit materiály použité uvnitř vývěvy. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 193/262...
  • Page 194 Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva je určena pro vysoce výkonné odčerpávání N , Ar a lehčího plynu. Pokud byste potřebovali odčerpávat plyny těžší než Ar, kontaktujte technickou podporu firmy Agilent a žádejte informace. 194/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 195: Údržba

    Před odesláním zařízení musíte k zařízení přibalit kopii tohoto listu. Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu s konkrétními státními normami. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 195/262...

  • Page 196: Likvidace

    Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 196/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 197: Návod Na Obsluhu

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 199 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 202 Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 197/262...

  • Page 198: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy

    V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 198/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 199: Všeobecné Informácie

    úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. Vývevy rady Turbo-V 2300 TwisTorr sú turbomolekulárne vývevy pre vytvorenie vysokého a ultra vysokého vákua a sú schopné čerpať veľa druhov plynov alebo plynných zlúčenín. Nie sú vhodné pre čerpanie kvapalín alebo pevných častíc.
  • Page 200 Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 200/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 201: Uchovávanie

    Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 201/262...

  • Page 202: Príprava Na Inštaláciu

    Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Turbo-V 2300 TwisTorr je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
  • Page 203 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Súprava Turbo-V 2300 TwisTorr zahrňuje: vývevu vstupná mriežka tento návod na použitie na CD Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 203/262...

  • Page 204: Inštalácia

    + zemniaci vodič). Prierez vodičov kábla musí byť najmenej 0,75 mm (AWG18). Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Kryty z konektorov odstráňte až po pripevnení turbovývevy k sústave. POZOR! 204/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 205 „Technical Information“. Zariadenie Turbo-V 2300 TwisTorr sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). Turbo-V 2300 TwisTorr musí byť inštalovaný vo zvislej polohe (s prírubou smerom nahor alebo nadol). Upevnite Turbo-V 2300 TwisTorr do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala...
  • Page 206 ISO 250 F Skrutky M10 30 Nm NEBEZPEČÍE! Turbo-V 2300 TwisTorr nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky. Systém možno upevniť len pomocou vlastnej ISO príruby 250F. NEBEZPEČÍE! Nedodržanie týchto pokynov pre inštaláciu môže v prípade poškodenia rotora spôsobiť odpojenie čerpadla od systému, s následnými škodami na majetku alebo ublížením na zdraví...

  • Page 207: Použitie

    (dusík a hélium) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technical Information“). Nikdy nepoužívajte vývevu v pre korozívne plyne alebo výpary, ktoré by mohli POZOR! poškodiť materiály, použité vo vnútri vývevy. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 207/262...
  • Page 208 Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Výveva je navrhnuté pre veľké prietoky dusíka, argónu a ľahkých plynov. Ak potrebujete čerpať plyn ťažší ako argón, informujte sa u technickej podpory firmy Agilent. 208/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 209: Údržba

    Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním. Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 209/262...

  • Page 210: Likvidácia

    Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 210/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 211: Priročnik Za Navodila

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 212 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 211/262...

  • Page 212: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 212/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 213: Splošne Informacije

    Črpalke serije Turbo-V 2300 TwisTorr so turbomolekularne črpalke za visoki in ultra visoki vakuum, ki lahko črpajo številne vrste plinov ali plinastih zmesi. Niso primerne za črpanje tekočin in trdnih delcev.
  • Page 214 če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila. OPOMBA 214/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 215: Shranjevanje

     datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 215/262...

  • Page 216: Priprava Za Montažo

    POZOR! boste tako preprečili probleme puščanja. Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito. Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati Turbo-V 2300 TwisTorr OPOMBA naprave. Vendarle je priporočljivo, da je naprava zaprta, dokler je ne namestite v sistem. S tem boste onemogočili onesnaženje sistema.
  • Page 217 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Turbo-V 2300 TwisTorr paket vsebuje: črpalka zaslon (vgrajen) navodila za uporabo na CD-ROMu Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 217/262...

  • Page 218: Montaža

    Presek kabla mora biti najmanj 0,75 mm (AWG18). Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Odstranite zaščito spajal samo potem, ko je turbočrpalka že priključena na POZOR! sistem. 218/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 219 "Technical Information". Turbo-V 2300 TwisTorr morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). Turbo-V 2300 TwisTorr mora biti nameščen v pokončnem položaju (s prirobnico navzgor ali navzdol). Turbo-V 2300 TwisTorr namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 40000 Nm...
  • Page 220 ISO 250 F M10 vijaki 30 Nm SVARILO! Naprave Turbo-V 2300 TwisTorr ni moč pritrditi s svojo osnovo. Sistem lahko pritrdite samo preko ISO 250F prirobnice. SVARILO! Če teh namestitvenih navodil ne upoštevate, ob okvari rotorja, črpalka lahko odstopi od sistema s posledičnim poškodovanjem stvari oziroma hudimi poškodbami oseb ali celo smrtjo.

  • Page 221: Uporaba

    (Dušik ali Helij) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). Črpalke nikoli ne uporabljajte v prisotnosti razjednih plinov ali hlapov, ki bi lahko POZOR! poškodovali inertne materiale črpalke. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 221/262...
  • Page 222 Črpalka je narejena za hitro črpanje N , Ar in lažjih plinov. Če želite črpati pline, ki so težji od Ar, prosimo, da kontaktirate Agilent tehnično podporo za več informacij. 222/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 223: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Turbo-V 2300 TwisTorr ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.

  • Page 224: Odlaganje Opadkov

    Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 224/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 225: Instructions For Use

    Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 226 General Information Storage Preparation for Installation 230 Installation Maintenance Disposal Original Instructions 225/262...

  • Page 226: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 226/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 227: General Information

    The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 33000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 2300 TwisTorr is free of contaminating agents and, therefore, is suitable for applications requiring a "clean" vacuum.
  • Page 228 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 228/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 229: Storage

    If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 229/262...

  • Page 230: Preparation For Installation

    Always use gloves or other appropriate protection. Normal exposure to the environment cannot damage the Turbo-V 2300 TwisTorr. NOTE Nevertheless, it is advisable to keep it closed and sealed until it is installed in the system.
  • Page 231 Instructions for Use Preparation for Installation The Turbo-V 2300 TwisTorr package includes: pump Purge/Vent Device (integrated) Water cooling hose tail connector (mounted) This instruction manual on CD-Rom Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 231/262...

  • Page 232: Installation

    0.75 mm (AWG18). Do not remove the bolted cap before connecting the turbopump to the system. CAUTION! Remove connector protections only after fixing the turbopump to the system. CAUTION! 232/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 233 The Turbo-V 2300 TwisTorr must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The Turbo-V 2300 TwisTorr has to be installed in vertical or upside down position. Fix the Turbo-V 2300 TwisTorr in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 40000 Nm around its axis.
  • Page 234 M10 bolts 30 Nm WARNING! The Turbo-V 2300 TwisTorr cannot be fixed by means of its base. The system can only be fixed through its ISO 250F flange. WARNING! Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death.

  • Page 235: Use

    , He) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). Never use the pump with corrosive gases or vapor to avoid damage to the internal CAUTION! materials of the pump. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 235/262...
  • Page 236 The pump is designed to pump high throughput of N , Ar and lighter gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please contact Agilent technical support for information. 236/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 237: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 2300 TwisTorr does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...

  • Page 238: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 238/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 239: Technical Information

    Inlet Screen Installation Water Cooling Connection Pump Purging and Venting Pump used with Corrosive Gases 249 How to Purge the Turbo-V 2300 TwisTorr Pump 249 How to Vent the Turbo-V 2300 TwisTorr Pump 250 High Vacuum Flange Connection Fore-Vacuum Pump Connection...

  • Page 240: Description Of The Turbo-V 2300 Twistorr

    Technical Information Description of the Turbo-V 2300 TwisTorr Description of the Turbo-V 2300 TwisTorr The Turbo-V 2300 TwisTorr pump is available in two versions. They are: Model 9696000 with ISO 250 F high vacuum flange  Model 9696001 with ConFlat 12” external diameter high vacuum ...

  • Page 241: Pump Description

    0.01 µm. The pump can operate in any position and must be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 40 NW flange. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 241/262...

  • Page 242: Technical Specification

    2000 m Lubricant permanent lubrication Cooling requirements Water Coolant water Recommended flow: ≥ 200 l/h Temperature: +15 °C to +30 °C Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi) 242/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 243 Weight kg (lbs) ISO 250: 54.2 (119.5) CF 12”: 55.3 (121.9) When the Turbo-V 2300 TwisTorr has been stored at a temperature less than NOTE 5 °C, wait until the system has reached the above mentioned temperature before starting the pump.
  • Page 244 Technical Information Technical Specification 244/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 245: Turbo-V 2300 Twistorr Outline

    Technical Information Turbo-V 2300 TwisTorr Outline Turbo-V 2300 TwisTorr Outline The following figure shows the Turbo-V 2300 TwisTorr outlines (dimensions are in mm [inches]). Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 245/262...

  • Page 246: Inlet Screen Installation

    The following figure shows the ISO 250 F pump flange section with the protection screen fitted on it. As you can see, the overall dimensions do not change as the inlet screen remains inside the pump profile. 246/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 247 The maximum temperature allowed for the ISO 250 inlet flange is 80 °C and for the CF 12” is 120 °C. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 247/262...

  • Page 248: Water Cooling Connection

    The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. 248/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 249: Pump Purging And Venting

    Technical Information Pump Purging and Venting Pump Purging and Venting The Turbo-V 2300 TwisTorr is equipped with an integrated purging and venting valve device. Both valves are fed through a single gas port, with 1/8 NPT thread or Swagelok connector.

  • Page 250: How To Vent The Turbo-V 2300 Twistorr Pump

    Close the process gases flowing into the system. Leaving the Turbo-V 2300 TwisTorr pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the process gases from the system (e.g. to reach the typical basic process pressure).
  • Page 251 Technical Information Pump Purging and Venting VACUUM TECHNOLOGIES Purge gas line Pressure regulator Purge and vent port Forevacuum pump Turbopump Water line Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 251/262...

  • Page 252: High Vacuum Flange Connection

    Technical Information High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo-V 2300 TwisTorr pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen - centering ring as shown in the figure. Then fix the two flanges with the bolts as shown in the following figures (12 x M10 steel bolts for ISO F flange).

  • Page 253: Fore-Vacuum Pump Connection

    Fore-Vacuum Pump Connection Fore-Vacuum Pump Connection A flange KF 40 NW is available to connect the Turbo-V 2300 TwisTorr pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
  • Page 254 The screw must be fixed with a 2 Nm torque. The impedance between the pump-body and the earth connection point must be < 0.1 Ω. 254/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)

  • Page 255: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    However if the effect is greater, than the case should be carefully reviewed by Agilent’s special-ist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 255/262...

  • Page 256: Accessories And Spare Parts

    Water cooling kit for 3/8 in. ID flexible tube (metallic model) 9699338 Triscroll 600 dry scroll primary pump, single phase motor PTS06001UNIV Triscroll 600 dry scroll primary pump, three phase motor PTS06003UNIV 256/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
  • Page 262 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd 121 Hartwell Avenue Unit Nos 105-116 Unit 201, Level 2 uptown 2, Lexington, MA 02421 - USA First Floor, Splendor Forum, 2 Jalan SS21/37, Damansara Uptown Tel.: +1 781 861 7200...

Ce manuel est également adapté pour:

96960009696001