Table des Matières
Publicité
.2.
l Einseuen des Spfflf r: chu:1:ms
-
Zorn Schutz d11r Turbor,iumpe
Fl'emdkdrpe1.
Splittmsahu
bung 1n1ch unlieoj einsewm (Zub
Abschnit 81,D r Sp
l
i
$rschutz
,
gert das S
ug
rmog
n um
2.2 Umbau der Tu1 bo plfmpe au .selr
flchea Hochi.r,
kaum'-'Flan
Fig.8
4.3 Vo
kuuman1H:hluB
fig.
9
-
An5chluG 7
an
TPHITPU 330
D
25 ll{F und an TPI-I
PU 610
ON 40
l<F.
- Aoschlull 52 an
V1;1rvat..u
II mpum pe ,
U O 1:1111d DUO 016 B DN 26
an
LI
Oun DUO 030
-
ON
r
-
All
Ve
blndung
der Vor\la
tiUng
63,
oflll!l-n
mil leinflansch•
e
m
uetem-
um
erues1
we de
B I st rreo Aohrverbindung n
Feclen.rngs firpnr
cinz:ub
uen,
Ob .rtmgu , n g d r
Vlbr
tion d r V0 r -
11akuum
umpe
.
z
u
dlil'l'I pfon.
Bouel
mente illl A
.sch11'
S
·
We e e Ba111t,eile
sind
m
B lz
ur
log Komponente.n
dio
Vakuumtoch-
ni
uf , g efii
rt.
-
Um die Betui
tung
es
Re. 2 1
iibar
die
Von,,1 1 �111umpumpe
e111, empfi
-
11
si
·
der
.
1 11
,
ochva uum
Siah
th tsvanlils
Jn
Pfe1ffe Vorv
uumpumpen ist ain
Hochwkuum-S lche
rh it v n
grlert.
1
4.2.
r RU/ng lhe spllnret .shJelC1
eg11n
- A
lin er
shield
1
lS'ebwoJ:a
VDUII
do nwurdj
hor,
rom foreign
matt
varrin
p11ra.
81, The splio er sh i Id 1ed uces I',
ea.
5
%.
vo1 uma flow
r.i,
,2.2
Convers.lon of lateral h1oh-vacu1 .1 m
tlW'IQe
ch
fi
.
8
- 01
dud i,nd su
ort: mu
Ugh iv g11111He1 e
be11ine ass
mblv,
Mournl rore-'lacuum drnhnol 2 of
ti"
ng a A to flange B or vice .. ersa.
W en as em
bhog,
thin bol.h
O-nng1;
t d in the
1roov-s.
- Screw bl 1rt flirn rl!i 9 to
,3
Fore•
w
acuu•
·
'91<
9
KF,
1.rnol
40
F.
u
u mle1
·
ist
1n
um die
.
-
Ka
•
11
nts".
-
n
order to prll'VBll
,
eo en
er rrom being, \i'Bnted
zu
verhn
•
ump, we recommend that lho h"g, h
-
DU
e, es
vacuum safe va
64.
A high-vacuum afely valve
111100
porated int 1 P
i
1
lnle-
umps.
.2.
should b
fitted
1st "
·
o
prot
,
h
pump
r
(Aoo
ss:a i
b',I'
ppra!II.
15 %,_
,
2.2 Thm.sformat
idiz.
no
l 1
cooling s ur
·
ees
care
rn u t b& La� 11
H 1u•11 c.orroctlV
e A
or
B.
m
i
c on
,ec'do11
,
4.3 R r:cotd de , v de pri ' m (ire
-
I
R
aecord
T'PU
TPl-i/T
- R cc:ord 62 sur pomp p ,me
el DUO
t
1e \I\OCuurn
churn•
11i11 l
.n back.11'19,
-
·
1
...
e
5
b
nstal:led.
1
O s
elf r bac Ing
1
1 Mrs en pfilce dtJ pam�at
Q/1 d
I bricJ
de vide pousss lar�m,
Fig.a
1
9.
'
9
7 s11 r ompe tu r o iPHf
3�m,
DN
,
2
5
KF,
su,
r
mpe tu bo
510 D 40
F.
ire
U
u r UNO t
016 B 0 25
klF.
1
'O
Publicité
Table des Matières
