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Démontage du réducteur de flux
1
5
4
4
4
(3) Vérifier que le joint est toujours positionné sur le module vide.
(4) Conserver le joint pour le nouveau réducteur de flux.
1
Vis de fixation
2
Module reniflage
3
Joint
Remontage du filtre à air
► Procéder dans l'ordre inverse du démontage.
Test d'étanchéité après maintenance du réducteur de flux
● Méthode de test sélectionnée : sous vide (voir chapitre « Méthode de test » du manuel de l'utilisa-
teur)
● Sonde de reniflage non connectée (si option/accessoire)
1. Ouvrir la vanne de calibration pour pouvoir réaliser le test.
2. Appuyer sur la touche de fonction [ZERO].
3. Asperger un léger flux d'hélium 4 autour du module calibration.
– taux de fuite mesuré < 1 · 10
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3
4
Joint du réducteur de flux
5
Réducteur de flux
-9
mbar·l/s (1 · 10
Entretien - Maintenance
-10
Pa·m
3
/s) après 3 s
29/40
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