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4. Laisser le module vide refroidir 10 mn si nécessaire.
5. Positionner le module vide verticalement avec l'accès à l'intérieur de la pompe au dessus.
5.7.3 Remplacement du réservoir du fluide d'exploitation de la pompe turbomolécu-
laire
Risque d'empoisonnement en cas de contact avec le fluide d'exploitation
Il y a risque d'empoisonnement en cas de contact avec la peau ou d'inhalation de vapeurs.
► Porter des protections comme des gants, des lunettes et un masque lors de la manipulation de
Risque d'intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi-
ques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opéra-
tions de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L'élimination illégale de substances toxiques nuit à l'environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environne-
► Porter des équipements de protection individuelle.
► Décontaminer les pièces concernées avant d'exécuter des opérations de maintenance.
Risque de détérioration du produit en cas d'utilisation de fluide d'exploitation non autorisé
Les pompes sont testées en usine avec de l'huile Pfeiffer Vacuum. Toute utilisation d'un autre type
d'huile peut altérer le produit et ses performances.
► En fonctionnement, utiliser impérativement la même huile, vendue par le constructeur.
Conditions préalables
► Accéder au réservoir du fluide d'exploitation (voir chapitre « Accès au réservoir du fluide d'exploi-
90°
1 Accès à l'intérieur de la pompe
DANGER
l'huile.
AVERTISSEMENT
mentaux dus aux substances de procédé toxiques.
Fiches techniques de sécurité
Les fiches techniques de sécurité des fluides d'exploitation sont disponibles sur demande
auprès de Pfeiffer Vacuum ou dans le
tation de la pompe turbomoléculaire »).
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AVIS
Centre de téléchargement de Pfeiffer
Entretien - Maintenance
Vacuum.
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