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Entretien - Maintenance
3. Remonter la cellule d'analyse (voir chapitre « Démontage/remontage de la cellule d'analyse »).
4. Mettre à jour le compteur de maintenance du filament remplacé à partir du menu (voir chapitre
5.7 Maintenance de la pompe turbomoléculaire
5.7.1 Remplacement de la molette
Afin de protéger la pompe turbomoléculaire de toute entrée d'air involontaire, la molette de la pompe
peut être remplacée par une vis spéciale (vis livrée avec le détecteur de fuites).
► En cas de besoin, une entrée d'air pourra être réalisée en dévissant la vis spéciale.
► Ne pas utiliser la molette (ou la vis spéciale) de façon régulière mais uniquement pour les besoins
1 Molette
Procédure
1. Accéder aux composants du module vide (voir chapitre « Accès aux composants du module vi-
2. Retirer la molette de la pompe.
3. Retirer le joint de la molette.
4. Mettre le joint autour de la vis spéciale.
5. Mettre la vis spéciale à la place de la molette.
5.7.2 Accès au réservoir du fluide d'exploitation de la pompe turbomoléculaire
1 Molette (ou vis spéciale)
1. Accéder aux composants du module vide (voir chapitre « Accès aux composants du module vi-
2. Pour arrêter la pompe plus rapidement, réaliser une entrée d'air en tournant la molette (ou la vis
3. Remettre la molette (ou la vis spéciale) en position initiale (orifice fermé).
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« Compteurs » du manuel de l'utilisateur).
de la maintenance. Une utilisation trop fréquente pourrait engendrer des fuites.
de »).
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de »).
spéciale) sur 1 tour maximum.
– Ne pas utiliser la molette (ou la vis spéciale) de façon régulière mais uniquement pour les be-
soins de la maintenance. Une utilisation trop fréquente pourrait engendrer des fuites.
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Pompe turbomoléculaire
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