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Utilisation
DI1 (déclencher remise à l'air)/broche 2
État
V+
ouverte
Tab. 38:
DI pompe moteur/broche 3
Avec la broche 4 activée (groupe de pompage) et l'auto-test conclu avec succès de l'unité de comman-
de électronique, la pompe turbomoléculaire est amorcée. En cours de fonctionnement, la pompe turbo-
moléculaire peut être éteinte et rallumée avec le groupe de pompage toujours actif, sans obligation de
remettre la pompe turbomoléculaire à l'air.
État
V+
ouverte
Tab. 39:
DI Groupe de pompage/broche 4
Commande des composants connectés du groupe de pompage (p. ex. pompe à vide primaire, vanne
de remise à l'air, refroidissement par air). Si la broche 3 (moteur) est activée en même temps, la pompe
turbomoléculaire démarre. Tout message d'erreur en suspens est réinitialisé en éliminant la cause.
État
V+
ouverte
Tab. 40:
DI stand-by/broche 5
En mode standby, la pompe turbomoléculaire fonctionne à une vitesse de rotor spécifiée < la vitesse de
rotation nominale. Le réglage en usine pour le fonctionnement recommandé est 66,7 % de la vitesse de
rotation nominale.
État
V+
ouverte
Tab. 41:
DI2 (chauffage)/broche 6
État
V+
ouverte
Tab. 42:
Entrée numérique DI3 (gaz de pressurisation) / broche 10
État
V+
ouverte
Tab. 43:
44/58
Description
Déclencher remise à l'air (remise à l'air selon mode de remise à l'air)
Remise à l'air bloquée (aucune remise à l'air n'a lieu)
DI1 (déclencher remise à l'air)/broche 2
Description
Moteur de pompe turbomoléculaire activé
Moteur de pompe turbomoléculaire désactivé
DI pompe moteur/broche 3
Description
Acquittement des erreurs et groupe de pompage en marche
groupe de pompage à l'arrêt
DI Groupe de pompage/broche 4
Description
Standby activé
Standby inactif, fonctionnement à la vitesse de rotation nominale
DI stand-by/broche 5
Description
Dispositif de chauffage en marche
Dispositif de chauffage à l'arrêt
DI2 (chauffage)/broche 6
Description
Vanne de gaz de pressurisation ouverte
Vanne de gaz de pressurisation fermée
Entrée numérique DI3 (gaz de pressurisation) / broche 10
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