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Surveillance du gaz de pressurisation
1. Régler le paramètre sélectionné sur « 13 ».
2. Régler le paramètre [P:791] sur le débit de gaz de pressurisation désiré pour le seuil d'avertisse-
3. Consulter le débit de gaz de pressurisation via le paramètre [P:337].
7.2.11 Modes de ventilation
La fonction « poste de pompage » active le mode de ventilation de la pompe turbomoléculaire après la
mise à l'arrêt. La sortie de signal est effectuée avec une temporisation fixe.
Sélection du mode de ventilation
1. Régler le paramètre [P:012] sur « 1 ».
2. Sélectionner le mode de ventilation avec le paramètre [P:030] (3 modes possibles).
Ventilation temporisée
1. Configurer le début et la durée de ventilation après « Station de pompage désactivée » en fonc-
2. Régler le paramètre [P:030] sur « 0 ».
3. Avec le paramètre [P:720], régler la vitesse de ventilation à la vitesse de rotation nominale en %.
4. Avec le paramètre [P:721], régler la vitesse de ventilation en s.
La soupape de ventilation s'ouvre pour la durée de ventilation définie. En cas de panne de courant, la
ventilation démarre lorsque la vitesse tombe sous la vitesse de ventilation de consigne. La durée de
ventilation dépend de l'énergie résiduelle fournie par le rotor en rotation. Le processus de ventilation
s'arrête lorsque la puissance est rétablie.
Pas de remise à l'air
Dans ce mode de fonctionnement, la ventilation est désactivée.
► Régler le paramètre [P:030] sur « 1 ».
Ventilation directe
La mise à l'air commence avec un retard de 6 secondes après l'arrêt du groupe de pompage. Lorsque
la fonction du groupe de pompage est réactivée, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement.
Après une panne de courant, la ventilation démarre après que la vitesse de rotation soit retombée au-
dessous d'une valeur type spécifiée. Une fois la puissance rétablie, le processus de ventilation reprend.
► Réglez le paramètre [P:030] sur « 2 ».
7.3 Fonctionnement via la connexion « à distance »
Utilisation à distance de l'unité de commande électronique via « remote »
1. Retirez la contre-fiche du raccordement « remote » de l'unité de commande électronique.
2. Raccordez la commande à distance.
3. Respectez le plan de connexion.
4. Utilisez le connecteur et le câble blindés.
7.3.1 Sortie +24 V CC/broche 1
Un raccordement de la tension +24 V CC avec la broche 1 (actif haut) active les entrées 2 à 6 ainsi que
les raccordements aux broches 10, 13 et 14. Alternativement, elles peuvent être activées par un PLC
externe. « Niveau haut PLC » active et « Niveau bas PLC » désactive les fonctions.
● Niveau haut PLC : +13 V à +33 V
● Niveau haut PLC : -33 V à +7 V
● Ri : 7 kΩ
● I
7.3.2 Entrées
Les entrées numériques sur le raccordement « remote » sont utilisées pour commuter les différentes
fonctions de l'unité de commande électronique. Au départ de l'usine, les entrées DI1 – DI2 peuvent être
réglées avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum configuré via Profibus ou l'interface RS-485.
ment.
tion de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire.
< 210 mA (avec RS-485, si disponible)
max
Utilisation
43/58
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