Utilisation
P max
[P:708]
Fig. 5:
P
f
P
max
f
N
Réglage du mode gaz
1. Contrôlez le mode gaz actuellement réglé avec le paramètre [P:027].
2. Réglez le paramètre [P:027] à la valeur requise.
3. Si nécessaire, réglez sur une fréquence plus basse dans le mode de réglage de la vitesse de ro-
La pompe turbomoléculaire fonctionne avec la consommation de courant maximale. Lorsque le régime
nominal et/ou réglé est atteint, l'unité de commande électronique bascule automatiquement sur la ca-
ractéristique de puissance choisie du mode gaz sélectionné. L'augmentation de la consommation de
courant compense initialement une augmentation du débit de gaz pour maintenir constante la vitesse
de rotation de la pompe turbomoléculaire. La pompe turbomoléculaire s'échauffe davantage en raison
de la friction croissante des gaz. Lorsque la puissance maximale dépendant du type de gaz est dépas-
sée, la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire est réduite par l'unité de commande électroni-
que jusqu'à ce qu'un équilibre admissible entre la puissance et la friction du gaz soit atteint.
7.2.2 Valeur de réglage de la puissance absorbée
Régler le paramètre [P:708]
Lorsque la consommation électrique spécifiée est inférieure à 100%, le temps de démarrage est aug-
menté.
1. Régler le paramètre [P:708] à la valeur requise en %.
2. Si nécessaire, ajuster le paramètre [P:700] RUTimeSVal afin d'éviter les messages d'erreur lors
7.2.3 Temps d'accélération
Le temps d'accélération de la pompe turbomoléculaire est surveillé en usine. Différentes causes peu-
vent prolonger les temps de démarrage, par exemple :
● Débit de gaz excessif
● Fuite dans le système
● Point de consigne du temps de démarrage trop bas
Régler le paramètre [P:700]
1. Si possible, éliminer toute cause externe et associée à l'application.
2. Ajuster le temps de démarrage avec le paramètre [P:700].
7.2.4 Points de commutation de vitesse de rotation
Vous pouvez utiliser le point de commutation de vitesse de rotation pour le message « pompe turbomo-
léculaire opérationnelle pour le processus ». Lorsque le point de commutation de vitesse de rotation est
38/58
P
D
Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de gaz
lourds [P:027] = 0
Consommation de courant
Vitesse de rotation
Consommation électrique
maximale
Vitesse de rotation nominale
tation afin d'éviter les variations de vitesse de rotation.
du démarrage.
B
F
f N
C-D
Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 0 »
(gaz de classe moléculaire > 39, par ex. argon)
A-B
Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 1 »
(gaz de classe moléculaire ≤ 39)
E-F
Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 2 »
(hélium)
E
A
C
f