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Pfeiffer Vacuum CMR 361 Manuel De L'utilisateur page 10

Jauge capacitive avec capteur en céramique

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Conception de la terre
Raccord à vide – masse signal
Masse alimentation – masse
signal
Matériaux au contact du vide
Bride, tube
Capteur et diaphragme
Liant capteur – diaphragme
Liant céramique – métal
Volume interne
Pression admissible (absolue)
PT R24 600 ... PT R24 603
PT R24 610 ... PT R24 633
PT R24 640 ... PT R24 643
Pression d'éclatement (absolue)
Températures admissibles
Stockage
Service
Etuvage (jauge hors circuit)
Humidité relative
Utilisation
Protection
10
→ "Raccordement
électrique"
conduites séparément, pour
mesure différentielle (10 Ω)
acier inoxydable AISI 316L
céramique (Al
O
2
vitrocéramique
brasure forte AgTiCu,
Vacon 70 (28 % Ni,
23 % Co, 49 % Fe)
3
≤ 3.6 cm
300 kPa
200 kPa
130 kPa
500 kPa
–40 °C ... +65 °C
+5 °C ... +50 °C
≤ 110 °C au raccord à vide
≤ 80 % à températures
≤ +31 °C diminuant à 50 %
à +40 °C
en salle, altitude jusqu'à
2000 m
IP 30
BG 5136 BFR / C
≥ 99.5 %)
3
(2019-05)

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