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instabilités (séparation des couches dans la chambre de mesure). Ceci peut entraîner des courts-
circuits. Un étanchement complet de la décharge de gaz est aussi possible en cas de contamina-
tion résultant de couches isolées (affichage : « underrange » ou gamme dépassée vers le bas).
Modification du degré de contamination
Dans une certaine mesure, le niveau de contamination peut être influencé. Les vapeurs séparées dans
le plasma (p. ex. à partir du système de mesure à cathode froide) nécessitent une attention particulière.
1. Implémentez des mesures préventives géométriques (tôles de protection, angles) pour les parti-
cules se propageant en ligne droite.
2. Choisissez une position de bride avec une pression partielle de contamination minimale.
3. Mettez le point de mesure hors circuit en cas de vapeurs de séparation.
ou
Isolez le point de mesure avec une vanne en cas de vapeurs de séparation.
Fonctionnement
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