Pfeiffer Vacuum HiPace 400 M Manuel De L'utilisateur page 18

Installation
Vanne de remise à
l'air
Raccorder le coté de
vide primaire
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La vanne de remise à l'air de Pfeiffer Vacuum sert à remettre automatiquement la pompe
à l'air après une mise hors tension ou une panne de courant.
La pression d'entrée max. autorisée est de 150 kPa absolus.
Fig. 6: Raccordement de la vanne de remise à l'air 24
 Enfichez la ligne de commande de l'accessoire dans le raccord pour accessoires cor-
respondant au niveau de la TM 700 et vissez-la.
 La valeur prédéfinie pour la vanne de remise à l'air est « accessory B1 ».
 Le cas échéant, installez l'alimentation en gaz de ventilation (p. ex. gaz inerte) côté
admission (G 1/8") de la vanne magnétique.
Recommandation : Comme pompe primaire, utilisez une pompe sèche ou une pompe
rotative à palettes puisées dans la gamme Pfeiffer Vacuum. La pompe primaire doit gé-
nérer une dépression de ≤ 8 hPa.
Risques sanitaires engendrés par des gaz toxiques
Les gaz processuels peuvent être dangereux pour la santé et/ou pour l'environnement.
 Vous devez dériver l'échappement de gaz de la pompe primaire de façon fiable !
 Respectez toutes les recommandations de sécurité publiées par le fabricant du gaz.
510
510b
Fig. 7: Raccordement de la pompe primaire
510 Raccord de vide primaire
510a Pompe primaire
24
AVERTISSEMENT
510a
510.1
510 .2
510b Boîte à relais
510.1 Anneau de centrage
510.2 Anneau de serrage