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4.5
Encrassement
Les éventuels dysfonctionnements de la jauge dus à
l'encrassement ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (par ex.
chambre d'ionisation, aide à l'amorçage, filament chauffé Pirani),
sont exclus de la garantie.
L'encrassement de la jauge dépend du type des fluides de
processus, d'éventuels encrassements existants ou nouveaux et
de leur pression partielle. Un fonctionnement en continu dans la
plage de 10-
encrassement et à de courtes durées de vie.
Un encrassement de la jauge conduit de manière générale à des
différences pour les valeurs mesurées :
Dans la plage des hautes pressions
(1×10-
trop élevée (encrassement de l'élément Pirani). Nouveau
réglage du système de mesure Pirani 28.
Dans la plage des basses pressions (p < 1×10-
affichée est en conséquence trop faible (encrassement du système
à cathode froide). De forts encrassements entraînement également
l'apparition d'instabilités (détachement de couches dans la
chambre de mesure). En cas d'encrassement par couches
isolantes, une extinction complète de la décharge de gaz est même
possible (affichage "Underrange").
Le degré de l'encrassement peut dans une certaine mesure être
influencé :
Par des mesures préventives géométriques (par ex. tôles de
blindage, coudes) pour des particules se propageant en ligne
droite.
En choisissant précisément la position de la bride des jauges à un
endroit où la pression partielle de l'encrassement est minimale.
Une attention particulière est requise pour les vapeurs se
séparant dans le plasma (par ex. du système de mesure à
cathode froide). Si nécessaire, mettre la jauge hors marche ou
bien la cloisonner au moyen d'une vanne en présence de
vapeurs.
BG 5041 BFR/B
4
mbar ... 10-
3
mbar ... 0,1 mbar), il en résulte une pression affichée
(2016-07)11
2
mbar peut conduire à un fort
3
mbar), la pression
25
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