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Pfeiffer Vacuum PCR 280 Manuel De L'utilisateur page 40

Jauge capacitive/pirani
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Caractéristiques techniques et dimensions
15 Caractéristiques techniques et dimensions
15.1 Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 10:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 11:
15.2 Fiche technique
Paramètre
Gamme de mesure
Pression maximum (absolue)
Pression de rupture (absolue)
Principe de mesure
Précision (N
Répétabilité (N
Calibrage de la jauge (HV)
Calibrage de la jauge (ATM)
Tab. 12:
Paramètre
Signal de sortie (signal de mesu-
re)
Impédance de sortie
40/46
mbar
bar
1
1 · 10
1,000
1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10
0,01
1,33
1,33 · 10
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1.69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
10 hPa à 1 500 hPa
1 à 10 hPa
5 × 10
-5
)
-4
5 × 10
2
-3
1 × 10
100 à 950 hPa
950 à 1 050 hPa
)
1 × 10
-3
2
Valeurs de mesure et de pression
Pa
-3
100
1 · 10
5
1
-5
100
-3
1,000
-3
133,32
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1.69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
Valeur
5 × 10
≤ 500 kPa
1 000 kPa
Capteur à diaphragme capacitif
Gamme mixte
Amenée de chaleur conformément au Pirani
jusqu'à 1 hPa
-3
±50 % de la valeur mesurée
à 1 × 10
hPa
±15 % de la valeur mesurée
jusqu'à 100 hPa
±5 % de la valeur mesurée
±2,5 % de la valeur mesurée
±2 % de la valeur mesurée
jusqu'à 1 100 hPa
à < 10
à > 100 hPa
Gamme de tension
Gamme de mesure
Signal d'erreur
Rapport tension-pression
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1,000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7.5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1.67 · 10
1
1,32
0,76
1
-5
jusqu'à 1 500 hPa
-5
hPa
Valeur
0 à +8,68 V CC
+1,2 à +8,68 V CC
0 V (en départ d'usine)
1 V/décade, logarithmique
2 × 4,7 Ω, résistant aux courts-
circuits
-3
3
/s
-2

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