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Pfeiffer Vacuum PCR 280 Manuel De L'utilisateur page 23

Jauge capacitive/pirani
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Conversion du signal de mesure et de la pression
Gamme de validité : 5 × 10
► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression.
► Conversion du signal de mesure en pression :
► Conversion de la pression en signal de mesure :
6.2 Détermination d'une pression efficace avec des facteurs de calibrage
p [hPa]
4
2
10
3
8
6
4
2
10
2
8
6
4
2
10
1
8
6
4
2
10
0
8
6
4
2
10
–1
8
6
4
2
10
–2
8
6
4
2
10
–3
8
6
4
2
–4
10
10
–4
Fig. 6:
A Capteur Pirani
B Gamme mixte
C Capteur à membrane capacitif
-5
hPa < p < 1 500 hPa
(U-c)
p = 10
U = c + log
p
10
10
–3
10
–2
2
4 6
2
4 6
2
4 6
Dépendance du type de gaz
A
B
1
2
3
10
–1
10
0
10
1
2
4 6
2
4 6
2
1
Air, oxygène (O
2
2
Hélium (He)
3
Argon (Ar)
Fonctionnement
C
10
2
10
3
4 6
2
4 6
2
p
[hPa]
eff
), monoxyde de carbone, (CO), azote (N
)
2
23/46

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