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Pfeiffer Vacuum PCR 280 Manuel De L'utilisateur page 22

Jauge capacitive/pirani
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Fonctionnement
6 Fonctionnement
Dès que la tension d'alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur le raccordement
électrique entre les broches 2 et 3.
Recommandations
► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes.
► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression.
► La jauge doit toujours rester enclenchée, quelle que soit la pression.
6.1 Conversion du signal de mesure et de la pression
p
1E+05
1E+04
1E+03
1E+02
1E+01
1E+00
1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
Fig. 5:
p Pression
Signal de mesure (U)
[V]
Tab. 5:
1)
22/46
0.0 0.5 1.0 1.5
2.0
2.5
1.2
Relation entre le signal de mesure et la pression
U
Mesure des signaux [V] (tension de sortie)
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
En fonction de l'unité de pression
3.0
3.5
4.0
4.5
5.0
5.5
U [V]
Pression (p)
[hPa]
[mbar]
[Torr]
[micron]
[Pa]
6.0
6.5
7.0
7.5
8.0
8.5
8.68
1)
Constante (c)
5,5
5,625
2,625
3,5
Pa
hPa
Torr
9.0

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