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Raccorder le côté de
vide primaire
Recommandation : Comme pompe primaire, utilisez une pompe sèche ou une pompe
rotative à palettes puisées dans la gamme Pfeiffer Vacuum. La pompe primaire doit gé-
nérer une dépression de ≤ 5 hPa.
Risques sanitaires engendrés par des gaz toxiques
Les gaz processuels peuvent être dangereux pour la santé et/ou pour l'environnement.
Vous devez dériver l'échappement de gaz de la pompe primaire de façon fiable !
Respectez toutes les recommandations de sécurité publiées par le fabricant du gaz.
20.1
20.2
20b
Fig. 5:
Raccordement de la pompe primaire
20
Raccord de vide primaire
20a Pompe primaire
Conception du raccordement du vide primaire en cas de torsion soudaine de la
pompe
Lors de la fixation de brides de vide élevé en version ISO-KF ou ISO-K, une torsion
risque de se produire - même si l'installation a été correctement réalisée - en cas de blo-
cage subit du rotor.
Minimiser les masses à installer directement au niveau de la pompe.
Le cas échéant, raccorder directement des éléments de conduite flexibles au niveau
de la pompe turbo.
En cas de jonctions rigides entre les conduites : Installez un soufflet dans la conduite
de raccordement pour amortir les vibrations.
Raccordez la conduite de vide primaire avec les composants de la petite bride ou
avec les raccords de flexibles. Ne réduisez pas la section libre offerte par la bride de
vide primaire !
Le raccordement électrique de la pompe primaire a lieu via une boîte à relais.
Enfichez la ligne de commande de l'accessoire dans le raccord pour accessoires cor-
respondant au niveau de la TC 400 et vissez-la.
La valeur prédéfinie pour la pompe primaire est « accessory A2 ».
Mettez en œuvre l'alimentation électrique pour la boîte à relais conformément au ma-
nuel de l'utilisateur de l'accessoire.
– Veuillez assurer une tension d'alimentation valide de la pompe primaire !
AVERTISSEMENT
20a
20
20b Boîte à relais
20.1 Anneau de centrage
AVIS
Installation
V
20.2 Anneau de serrage
19
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