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2 Consignes de sécurité
Les consignes de sécurité contenues dans ce document se
réfèrent uniquement à un produit seul. La combinaison avec
d'autres parties de l'installation peut entraîner des risques po-
tentiels qui doivent être examinés dans le cadre d'une analyse
des dangers. L'exploitant est responsable de l'élaboration de
l'analyse des dangers, du respect des mesures préventives
appropriées ainsi que de l'observation des réglementations ré-
gionales de sécurité.
Le document contient des consignes de sécurité fondamen-
tales qui doivent être respectées lors de la mise en service, de
l'utilisation et de l'entretien. Le non-respect des consignes de
sécurité peut avoir les conséquences suivantes :
- Exposition du personnel à des dangers d'origine électrique,
mécanique et chimique.
- Risque d'endommager les installations placées dans le voi-
sinage.
- Défaillance de fonctions importantes.
- Risque de pollution de l'environnement par rejet de sub-
stances toxiques en raison de fuites.
Les consignes de sécurité ne tiennent pas compte :
- des aléas et événements pouvant se produire lors du mon-
tage, de l'utilisation et de l'entretien.
- des réglementations de sécurité locales, dont le respect re-
lève de la responsabilité de l'exploitant (y compris en cas
d'intervention de personnel extérieur à la société).
Avant la mise en service :
1. Transporter et stocker le produit de manière adaptée.
2. Ne pas peindre les vis et éléments en plastique du produit.
3. Confier l'installation et la mise en service au personnel
qualifié et formé.
4. Former suffisamment le personnel chargé du montage et
de l'utilisation.
5. S'assurer que le contenu du document a été pleinement
compris par le personnel compétent.
6. Définir les responsabilités et les compétences.
7. Tenir compte des fiches de sécurité.
8. Respecter les réglementations de sécurité s'appliquant
aux fluides utilisés.
Lors de l'utilisation :
9. Veiller à ce que ce document soit constamment dispo-
nible sur le site d'utilisation.
10. Respecter les consignes de sécurité.
11. Utiliser le produit conformément à ce document.
12. Utiliser le produit conformément aux caractéristiques
techniques.
13. Veiller à l'entretien correct du produit.
14. Les travaux d'entretien ou de réparation qui ne sont pas
décrits dans ce document ne doivent pas être effectués
sans consultation préalable du fabricant.
www.gemu-group.com
En cas de doute :
15. Consulter la filiale GEMÜ la plus proche.
3 Description du produit
3.1 Conception
N°
Désignation
1
Actionneur
2
PD de régulation
3
Corps de vanne
4
Connexion électrique
5*
Indication LED d'état
* information de position par LED à partir de la version de l'ap-
pareil 01 disponible (voir notice d'utilisation – plaque signalé-
tique)
3.2 Description
La vanne à clapet à membrane 2/2 voies GEMÜ C53 iComLine
a été conçue pour les applications de régulation précises et
complexes nécessaires à la fabrication des semi-conduc-
teurs. Le principe d'étanchéité de la vanne repose sur la tech-
nologie PD (Plug Design) éprouvée de GEMÜ, c'est-à-dire que
l'actionneur et le fluide sont séparés au moyen d'un clapet de
régulation en PTFE. Le contour du cône de régulation, la
course de l'actionneur et les tailles de raccord peuvent être
adaptés aux besoins spécifiques du client. De ce fait, la
GEMÜ C53 iComLine répond à la quasi-totalité des exigences
de l'industrie des semi-conducteurs en matière de régulation
et de débit. Associé aux matériaux de corps ultra-purs, le mo-
teur pas à pas précis est particulièrement adapté aux proces-
sus de lithographie, de polissage et de gravure tout comme
pour les applications analytique de la fabrication de semi-
conducteurs.
3.3 Fonctionnement
Le produit a été conçu pour être installé dans une tuyauterie.
Il pilote le fluide qui le traverse en se fermant ou en s'ouvrant
par l'intermédiaire d'un actionneur électrique.
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3 Description du produit
5
4
1
2
3
Matériaux
Composants externes
de l'actionneur en
PVDF
PTFE TFM™
PFA, PTFE
PPS
GEMÜ C53 iComLine
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