Tube de vide
Le tube de vide englobe l'interface avec la source d'ions, le système d'optique ionique, l'analyseur de
masse et le système de détection des ions. Il se présente sous la forme d'une chambre en aluminium à
parois épaisses dotée de deux couvercles latéraux amovibles, avec des ouvertures à l'avant, sur les côtés
et sur le dessus, ainsi que plusieurs trous de passage et arrivées de gaz.
Le collecteur de dépression est divisé en quatre chambres par trois déflecteurs. Voir la
pompe primaire évacue l'intérieur de la première chambre, appelée zone de transfert des ions/skimmer.
La troisième arrivée dans la section de la pompe à vide à trois niveaux d'admission évacue la zone
intérieure de la deuxième chambre, appelée zone du système d'optique ionique Q00. L'orifice
inter-étage de la pompe turbomoléculaire évacue la zone intérieure de la troisième chambre, appelée
zone du système d'optique ionique Q0. L'orifice pour vide poussé de la pompe turbomoléculaire
évacue la zone intérieure de la quatrième chambre, appelée zone de l'analyseur, à moins de 10
pompe turbomoléculaire se décharge à son tour dans la pompe primaire, via la ligne primaire.
Figure 31. Tube de vide (vue intérieure)
Joint torique
La chambre de la cellule de collision, située à l'intérieur de la chambre de l'analyseur, a une pression en
argon contrôlée par l'utilisateur comprise entre 1 et 4 mTorr lorsque la dissociation induite par
collision (CID) est activée. L'argon présent dans la cellule de collision est évacué par la pompe primaire
lorsque la CID est désactivée.
Thermo Scientific
Jauge ionique
Chambre de
Chambre de la
l'analyseur
cellule de collision
Pompe turbomoléculaire
Chambre du système
d'optique ionique Q0
Chicane
Manuel du matériel de la gamme TSQ
2
Description des fonctions
Spectromètre de masse
Figure
31. La
-5
Torr. La
Jauge
Convectron
Chicane
37