Table des Matières
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Espace d'installation
Afin d'optimiser les performances de ce microscope, veiller à ce que l'espace d'installation présente les dimensions
minimales décrites ci-dessous avant l'assemblage et l'installation du microscope.
Les dimensions de la zone délimitée par une alternance de tirets longs et de deux tirets courts correspondent à la plage
de déplacement de la platine. Les dimensions marquées d'un * sont variables en fonction du boîtier de lampe à combiner.
· Pour l'entretien, il est possible de sécuriser un espace de travail plus vaste en changeant le sens de la tête
ASTUCE
d'observation ou en déplaçant la platine.
· L'espace d'installation suivant est réglé conformément aux directives de la norme SEMI (SEMI S8-0915). Il
est recommandé de sécuriser l'espace d'installation approprié, en fonction des opérations à exécuter, en se
reportant à l'espace d'installation suivant, à l'apparence du système, à la hauteur du point oculaire, etc.
Espace d'installation du MX63
8
Plage de dépla-
cement de la
platine
Espace d'installation
Unité : mm
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