Table des Matières
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ANNEXE 1
Autres éléments du système SPD121P
Concentrateur
SPD121P
Concentrateur
SYSTÈME SEMI-INTÉGRÉ
Tube à
vide
Tube
RVT400
à vide
en TEFLON® Piège réfrigéré
Tube
SYSTÈME DE VIDE À COMPOSANTS
Tube
à vide vers
la pompe SP
UVS
vers le piège réfrigéré
depuis la
chambre
Du piège réfrigéré
vers le concentrateur
SPD121P
Pompe à vide
11
Post
piège de
post trap
récupération
Tube à vide
vers le piège
réfrigéré
Tube à vide
vers le piège
réfrigéré
Filtre à huile de
la pompe à vide
VPOF1 10
VLP120
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