Table des Matières
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Installation du CPG
Installation des frites du module EPC Aux pour votre application
Tableau 7
Kit de restricteur EPC Aux G3470-60502
Le kit contient
Référence
Joints toriques,
5181-3344
paquet de 6
Aucun
G3430-80061
3
G3430-80062
3
G3430-80063
3
G3430-20011
42
Ne tenez pas compte de cette section si aucun module EPC
Aux n'est installé.
Le module EPC AUX est livré avec des restricteurs (air DIF)
marron dans tous les canaux. Pour certaines applications,
vous devez remplacer ce restricteur (fritte) pour que le
module EPC puisse fournir des débits situés dans des plages
correctes. Voir la section
documentation des autres instruments et applications.
Marquage
Débit
1 anneau Marron
400 ± 30 SCCM air
@ 40 psig
2 anneaux Rouge
30 ± 1,5 SCCM H2
@ 15 psig
3 anneaux Bleu
3,33 ± 0,3 SCCM
H2 @ 15 psig
Aucun
Remarques sur cette table
• La fritte G3430- 80061 est livrée avec chaque canal AUX.
• Le kit de restricteur G3470- 60502 est inclus dans le kit
livré du module AUX.
• Utilisez toujours de nouveaux joints toriques (référence
5181- 3344, joints toriques, paquet de 6).
• Installez les tubes et connecteurs en fonction de chaque
alimentation en gaz supplémentaire.
• N'installez pas de restricteur de débit externe.
• Pour prendre connaissance des autres recommandations
concernant le restricteur, voir le manuel
avancées.
Tableau
7. Consultez également la
Résistance
Souvent utilisé avec
Faible
Air DIF, répartiteurs
purgés, commutateur
Deans
Moyen
Hydrogène DIF
Elevé
Hydrogène NPD
Zéro (aucun)
Répartiteur purgé,
commutateur Deans
lors de l'utilisation du
refoulement
des opérations
Agilent 7890B Installation
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