Pfeiffer Vacuum PCR 280 Manuel De L'utilisateur page 11

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2.1
Pression p
1E+05
1E+04
1E+03
1E+02
1E+01
1E+00
1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
0.0 0.5 1.0 1.5
valable pour gamme
U
[V]
[V]
[µbar]
[V]
[V]
[mTorr]
BG 5181 BFR / A
Relation signal de mesure – pression
2.0
2.5
3.0
3.5
1.2
Signal de mesure U [V]
(U-c)
p = 10
5×10
p
c
[hPa]
5.5
2.5
[Torr]
5.625
2.625
p Pression
U Signal de mesure
c constante (en fonction de l'unité de pression)
(2013-11)
4.0
4.5
5.0
5.5
6.0
6.5
7.0
U = c + log
-5
hPa < p < 1500 hPa
U
[V]
[micron]
[V]
[V]
Pa
hPa
Torr
7.5
8.0
8.5
9.0
8.68
p
10
p
c
2.625
[Pa]
3.5
[kPa]
6.5
11

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